Người giữ wafer phủ sic

VETEK SEMICDUCTOR COATED SIC SIC NEWFER thường được sử dụng để sửa chữa và hỗ trợ các tấm wafer trong quá trình xử lý chất bán dẫn. Nó là một hiệu suất caongười vận chuyển waferđược sử dụng rộng rãi trong sản xuất bán dẫn. Bằng cách phủ một lớp cacbua silicon (sic) trên bề mặt củachất nền, sản phẩm có thể ngăn chặn chất nền một cách hiệu quả, và cải thiện khả năng chống ăn mòn và cường độ cơ học của chất mang wafer, đảm bảo các yêu cầu ổn định và chính xác của quá trình xử lý.

Người giữ wafer phủ sicthường được sử dụng để sửa chữa và hỗ trợ các tấm wafer trong quá trình xử lý chất bán dẫn. Nó là một hãng wafer hiệu suất cao được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn. Bằng cách phủ một lớpCarbide silicon (sic)Trên bề mặt chất nền, sản phẩm có thể ngăn chặn cơ chất ăn mòn một cách hiệu quả và cải thiện khả năng chống ăn mòn và sức mạnh cơ học củanhà cung cấp wafer, đảm bảo các yêu cầu ổn định và chính xác của quá trình xử lý.

Carbide silicon (SIC) có điểm nóng chảy khoảng 2.730 ° C và có độ dẫn nhiệt tuyệt vời khoảng 120 - 180 W/m · k. Tài sản này có thể nhanh chóng tiêu tan nhiệt trong các quá trình nhiệt độ cao và ngăn ngừa quá nóng giữa wafer và chất mang. Do đó, giá đỡ wafer phủ SIC thường sử dụng than chì silicon cacbua (SIC) làm chất nền.

Kết hợp với độ cứng cực kỳ cao của SIC (độ cứng của Vickers khoảng 2.500 HV), lớp phủ silicon cacbua (SIC) được lắng đọng bởi quá trình CVD có thể tạo thành một lớp phủ bảo vệ dày đặc và mạnh mẽ, giúp cải thiện đáng kể khả năng chống mài mòn của người giữ dây bọc SIC.

Giá đỡ wafer SIC của Bán dẫn Vetek được làm bằng than chì được phủ SIC và là một thành phần chính không thể thiếu trong các quá trình epitaxy bán dẫn hiện đại. Nó khéo léo kết hợp độ dẫn nhiệt tuyệt vời của than chì (độ dẫn nhiệt là khoảng 100-400 W/m · k ở nhiệt độ phòng) và cường độ cơ học, và khả năng chống ăn mòn hóa học tuyệt vời và độ ổn định nhiệt của cacbua silicon (điểm nóng chảy của SIC là khoảng 2.730 ° C).

Người giữ thiết kế một người có thể kiểm soát chính xácQuá trình epiticularCác thông số, giúp sản xuất các thiết bị bán dẫn chất lượng cao, hiệu suất cao. Thiết kế kết cấu độc đáo của nó đảm bảo rằng wafer được xử lý với sự chăm sóc và chính xác nhất trong toàn bộ quá trình, do đó đảm bảo chất lượng tuyệt vời của lớp epiticular và cải thiện hiệu suất của sản phẩm bán dẫn cuối cùng.

Như hàng đầu của Trung QuốcSic phủNhà sản xuất và lãnh đạo Wafer, chất bán dẫn Vetek có thể cung cấp các sản phẩm và dịch vụ kỹ thuật tùy chỉnh theo các yêu cầu về thiết bị và quy trình của bạn.Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

Dữ liệu SEM của cấu trúc tinh thể màng CVD SIC

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD sic

Bán dẫn Vetek SIC SIC SPLE