Vòng cạnh sic

Trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn, các vòng cạnh sic, như các thành phần cốt lõi của thiết bị xử lý wafer, đang cách mạng hóa cảnh quan công nghiệp với các đặc tính vật chất của chúng. Giá trị của thành phần chính xác này được làm từ các tinh thể đơn cacbua silicon không chỉ nằm ở nội dung công nghệ cao mà còn cải thiện đáng kể năng suất và tối ưu hóa chi phí vận hành mà nó có thể mang lại cho các nhà sản xuất chip.

Đặc điểm cấu trúc vòng cạnh sic

Vòng cạnh silicon là các thành phần tiêu thụ chính trong thiết bị khắc bán dẫn và được làm bằng vật liệu cacbua silicon có độ tinh khiết cao được điều chế bằng phương pháp lắng đọng hơi hóa học (CVD). Đường kính của cấu trúc hình khuyên của nó thường là 200-450mm và độ dày được kiểm soát trong vòng 5-15mm, có các đặc điểm sau:

1. Khả năng chịu đựng: Có thể chịu được môi trường nhiệt độ cao là 1500 ℃

2. Tính ổn định trong huyết tương: hằng số điện môi 9.7, điện áp phá vỡ 3MV/cm

3. Độ chính xác hình học: Lỗi độ tròn ≤0,05mm, độ nhám bề mặt RA <0,2μm

Đột phá trong quá trình sản xuất

Quá trình chuẩn bị hiện đại áp dụng phương pháp ba giai đoạn:

1. Hình thành ma trận: hình thành ép đẳng hướng đảm bảo mật độ đồng nhất

2. Thiêu kết nhiệt độ cao: điều trị mật độ trong bầu không khí trơ ở 2100 ℃

3. Sửa đổi bề mặt: Các lớp bảo vệ nano được hình thành thông qua khắc ion phản ứng (RIE). Nghiên cứu mới nhất cho thấy tuổi thọ của các vòng cạnh cacbua silicon pha tạp với 3% boron được tăng 40% và tỷ lệ ô nhiễm wafer giảm xuống mức 0,01ppm

Kịch bản ứng dụng

Nó cho thấy sự không thể thay thế trong các quy trình dưới 5nm:

2. Tính đồng nhất khắc: Nó có thể duy trì độ lệch tốc độ khắc là ± 1,5% ở cạnh wafer

3. Kiểm soát ô nhiễm: Nó làm giảm ô nhiễm kim loại xuống 92% so với vật liệu thạch anh truyền thống

4. Chu kỳ bảo trì: Nó có thể hoạt động liên tục trong 1500 giờ trong huyết tương CF4/O2

Veteksemonon đã đạt được một bước đột phá trong việc sản xuất các vòng SIC Edge trong nước, có thể tiết kiệm rất nhiều chi phí. Chào mừng bạn đến với chúng tôi bất cứ lúc nào!