Chất nhạy cảm Epi phủ silicon cacbua

Epitaxy bán dẫn đề cập đến sự phát triển của một màng mỏng có cấu trúc mạng cụ thể trên bề mặt vật liệu nền bằng các phương pháp như pha khí, pha lỏng hoặc lắng đọng chùm phân tử, sao cho lớp màng mỏng mới phát triển (lớp epiticular) có cấu trúc và hướng mạng giống hoặc tương tự như chất nền. 

Công nghệ epitax là rất quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong việc chuẩn bị các màng mỏng chất lượng cao, chẳng hạn như các lớp tinh thể đơn, cấu trúc dị thể và cấu trúc lượng tử được sử dụng để sản xuất các thiết bị hiệu suất cao.

Chất nhạy cảm Epi được phủ cacbua silicon là thành phần chính được sử dụng để hỗ trợ chất nền trong thiết bị tăng trưởng epiticular và được sử dụng rộng rãi trong epit Wax silicon. Chất lượng và hiệu suất của bệ epiticular ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng tăng trưởng của lớp epitaxy và đóng một vai trò quan trọng trong hiệu suất cuối cùng của các thiết bị bán dẫn.

Chất bán dẫn Vetek phủ một lớp lớp phủ SIC trên bề mặt than chì SGL bằng phương pháp CVD và thu được độ nhạy EPI được phủ SIC với các tính chất như kháng nhiệt độ cao, kháng oxy hóa, kháng ăn mòn và đồng nhất nhiệt.

Trong một lò phản ứng thùng điển hình, chất nhạy cảm Epi được phủ silicon cacbua có cấu trúc thùng. Phần dưới của bộ cảm biến Epi được phủ SiC được nối với trục quay. Trong quá trình tăng trưởng epiticular, nó duy trì luân phiên xoay theo chiều kim đồng hồ và ngược chiều kim đồng hồ. Khí phản ứng đi vào buồng phản ứng thông qua vòi phun, do đó dòng khí tạo thành sự phân bố khá đồng đều trong buồng phản ứng, và cuối cùng tạo thành sự phát triển của lớp epiticular đồng đều.

Mối quan hệ giữa sự thay đổi khối lượng của than chì phủ SiC và thời gian oxy hóa

Kết quả của các nghiên cứu được công bố cho thấy ở mức 1400 và 1600, khối lượng của than chì được phủ SIC tăng rất ít. Đó là, than chì phủ SIC có khả năng chống oxy hóa mạnh. Do đó, SIC lớp phủ EPI có thể hoạt động trong một thời gian dài trong hầu hết các lò nung epiticular. Nếu bạn có nhiều yêu cầu hoặc nhu cầu tùy chỉnh, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi. Chúng tôi cam kết cung cấp các giải pháp nhạy cảm EPI được phủ SIC chất lượng tốt nhất.

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD sic

Nó bán dẫnCác cửa hàng cảm nhận EPI được phủ silicon cacat