Các sản phẩm
CVD SIC Focus Ring
  • CVD SIC Focus RingCVD SIC Focus Ring

CVD SIC Focus Ring

Bán dẫn Vetek là nhà sản xuất và cung cấp các vòng tập trung CVD SIC hàng đầu, dành riêng để cung cấp các giải pháp sản phẩm có hiệu lực cao, hiệu suất cao cho ngành công nghiệp bán dẫn. Các vòng tập trung CVD SIC của Bán dẫn Vetek sử dụng công nghệ lắng đọng hơi hóa học tiên tiến (CVD), có khả năng chống nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn và độ dẫn nhiệt, và được sử dụng rộng rãi trong các quá trình in thạch bản bán dẫn. Yêu cầu của bạn luôn được chào đón.

Là nền tảng của các thiết bị điện tử và công nghệ thông tin hiện đại, công nghệ bán dẫn đã trở thành một phần không thể thiếu của xã hội ngày nay. Từ điện thoại thông minh đến máy tính, thiết bị truyền thông, thiết bị y tế và pin mặt trời, hầu hết tất cả các công nghệ hiện đại đều dựa vào sản xuất và ứng dụng các thiết bị bán dẫn.


Khi các yêu cầu về tích hợp chức năng và hiệu suất của các thiết bị điện tử tiếp tục tăng, công nghệ xử lý chất bán dẫn cũng liên tục phát triển và cải thiện. Là liên kết cốt lõi trong công nghệ bán dẫn, quá trình khắc trực tiếp xác định cấu trúc và đặc điểm của thiết bị.


Quá trình khắc được sử dụng để loại bỏ chính xác hoặc điều chỉnh vật liệu trên bề mặt của chất bán dẫn để tạo thành cấu trúc và mẫu mạch mong muốn. Các cấu trúc này xác định hiệu suất và chức năng của các thiết bị bán dẫn. Quá trình khắc có thể đạt được độ chính xác ở cấp độ nanomet, đây là cơ sở để sản xuất các mạch tích hợp hiệu suất cao, mật độ cao (ICS).


Vòng lấy nét CVD SIC là một thành phần cốt lõi trong khắc khô, chủ yếu được sử dụng để tập trung plasma để làm cho nó có mật độ và năng lượng cao hơn trên bề mặt wafer. Nó có chức năng phân phối khí đều. Bán dẫn Vetek phát triển lớp SIC theo từng lớp thông qua quy trình CVD và cuối cùng có được vòng lấy nét CVD SIC. Vòng lấy nét CVD được chuẩn bị có thể đáp ứng hoàn hảo các yêu cầu của quá trình khắc.


CVD SiC Focus Ring working diagram

Vòng lấy nét CVD SIC là tuyệt vời về tính chất cơ học, tính chất hóa học, độ dẫn nhiệt, điện trở nhiệt độ cao, điện trở khắc ion, v.v.


● Mật độ cao làm giảm thể tích khắc

● Khoảng cách dải cao và cách nhiệt tuyệt vời

● Độ dẫn nhiệt cao, hệ số giãn nở thấp và khả năng chống sốc nhiệt

● Độ đàn hồi cao và khả năng chống va đập cơ học tốt

● Độ cứng cao, khả năng chống mài mòn và khả năng chống ăn mòn


Chất bán dẫn Vetek có khả năng xử lý vòng tập trung CVD SIC hàng đầu ở Trung Quốc. Trong khi đó, nhóm kỹ thuật và nhóm bán hàng trưởng thành của Vetek S bán dẫn giúp chúng tôi cung cấp cho khách hàng các sản phẩm nhẫn tập trung phù hợp nhất. Chọn chất bán dẫn Vetek có nghĩa là hợp tác với một công ty cam kết đẩy ranh giới củaCVD silicon cacbua sự đổi mới.


Với sự nhấn mạnh vào chất lượng, hiệu suất và sự hài lòng của khách hàng, chúng tôi cung cấp các sản phẩm không chỉ đáp ứng mà còn vượt quá nhu cầu nghiêm ngặt của ngành công nghiệp bán dẫn. Hãy để chúng tôi giúp bạn đạt được hiệu quả, độ tin cậy và thành công cao hơn trong các hoạt động của bạn với các giải pháp carbide CVD CVD tiên tiến của chúng tôi.


Dữ liệu SEM của phim CVD sic

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD sic

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD sic
Tài sản
Giá trị điển hình
Cấu trúc tinh thể
FCC polycrystalline pha, chủ yếu (111) định hướng
Mật độ lớp phủ sic
3,21 g/cm³
Độ cứng của lớp phủ sic
Độ cứng 2500 Vickers (tải 500g)
Kích thước hạt
2 ~ 10 mm
Độ tinh khiết hóa học
99,9995%
Công suất nhiệt
640 J · kg-1· K-1
Nhiệt độ thăng hoa
2700
Sức mạnh uốn
415 MPa RT 4 điểm
Mô đun của trẻ
430 GPA 4pt uốn cong, 1300 ℃
Độ dẫn nhiệt
300W · m-1· K-1
Mở rộng nhiệt (CTE)
4,5 × 10-6K-1

Nó bán dẫnCVD SIC Focus Ring Sản phẩm Cửa hàng:

Semiconductor process equipmentSiC Coating Wafer CarrierCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

Thẻ nóng: CVD SIC Focus Ring
Gửi yêu cầu
Thông tin liên lạc
  • Địa chỉ

    Đường Wangda, đường Ziyang, Hạt Wuyi, Thành phố Jinhua, Tỉnh Chiết Giang, Trung Quốc

  • điện thoại

    +86-18069220752

Nếu có thắc mắc về Lớp phủ silicon cacbua, Lớp phủ cacbua Tantalum, Than chì đặc biệt hoặc bảng giá, vui lòng để lại email của bạn cho chúng tôi và chúng tôi sẽ liên hệ trong vòng 24 giờ.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept