Người ủng hộ EPI

Vetek S bán dẫn là một nhà lãnh đạo chuyên nghiệp Trung Quốc EPI được thực hiện, nhà sản xuất hỗ trợ than chì của ALD Planetary Plepor và TAC phủ. Và Hỗ trợ EPI của chúng tôi là một thành phần quan trọng củaTăng trưởng epiticularTrong quá trình sản xuất bán dẫn. Chức năng chính của nó là hỗ trợ và làm nóng wafer để một lớp epiticular chất lượng cao có thể được trồng đồng đều trên bề mặt wafer.

Các chất bán dẫn Vetek EPI của EPI thường được làm bằng than chì tinh khiết cao và được phủ một lớp cacbua silicon (SIC).Thiết kế này có những lợi thế quan trọng sau đây:

● Độ ổn định nhiệt độ cao: Bộ nhớ EPI có thể vẫn ổn định trong môi trường nhiệt độ cao, đảm bảo sự phát triển đồng đều của lớp epiticular.

● Khả năng chống ăn mòn: Lớp phủ SIC có khả năng chống ăn mòn tuyệt vời và có thể chống lại sự xói mòn của khí hóa học, kéo dài tuổi thọ của khay.

● Độ dẫn nhiệt: Độ dẫn nhiệt cao của vật liệu SIC đảm bảo phân bố nhiệt độ đồng đều của wafer trong quá trình gia nhiệt, do đó cải thiện chất lượng của lớp epiticular.

● Kết hợp hệ số giãn nở nhiệt: Hệ số giãn nở nhiệt của SIC tương tự như than chì, tránh vấn đề rụng phủ do sự giãn nở và co lại nhiệt.

Tính chất vật lý cơ bản củaCVD SIC Lớp phủ:

Cửa hàng sản xuất lớp phủ CVD SIC:

Tổng quan về chuỗi ngành công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: