Tin tức trong ngành

Trong các quy trình bán dẫn nhiệt độ cao, việc xử lý, hỗ trợ và xử lý nhiệt các tấm bán dẫn phụ thuộc vào một bộ phận hỗ trợ đặc biệt—thuyền bán bán dẫn. Khi nhiệt độ quy trình tăng lên và yêu cầu về độ sạch cũng như kiểm soát hạt tăng lên, thuyền wafer thạch anh truyền thống dần bộc lộ các vấn đề như tuổi thọ ngắn, tốc độ biến dạng cao và khả năng chống ăn mòn kém.

Đối với việc sản xuất chất nền cacbua silic ở quy mô công nghiệp, sự thành công của một đợt tăng trưởng đơn lẻ không phải là mục tiêu cuối cùng. Thách thức thực sự nằm ở việc đảm bảo rằng các tinh thể được phát triển qua các lô, công cụ và khoảng thời gian khác nhau duy trì được mức độ nhất quán và độ lặp lại cao về chất lượng. Trong bối cảnh này, vai trò của lớp phủ tantalum cacbua (TaC) vượt xa khả năng bảo vệ cơ bản—nó trở thành yếu tố chính trong việc ổn định cửa sổ quy trình và bảo vệ năng suất sản phẩm.

​Sự tăng trưởng PVT bằng silicon cacbua (SiC) liên quan đến chu kỳ nhiệt nghiêm trọng (nhiệt độ phòng trên 2200 oC). Ứng suất nhiệt rất lớn được tạo ra giữa lớp phủ và chất nền than chì do sự không phù hợp về hệ số giãn nở nhiệt (CTE) là thách thức cốt lõi quyết định tuổi thọ của lớp phủ và độ tin cậy của ứng dụng.