Sic phủ sâu UV LED

Sic phủ Deep UV LED LED là thành phần ổ trục lõi trongMOCVD (Thiết bị lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại). Bộ nhớ ảnh hưởng trực tiếp đến tính đồng nhất, kiểm soát độ dày và chất lượng vật liệu của sự tăng trưởng epiticular LED UV sâu, đặc biệt là trong sự phát triển của lớp epiticular nhôm (ALN) với hàm lượng nhôm cao, thiết kế và hiệu suất của bộ nhạy là rất quan trọng.

SIC SIC DEEP UV LED LED Sensoror được tối ưu hóa đặc biệt cho epitaxy LED Deep Deep, và được thiết kế chính xác dựa trên các đặc điểm môi trường nhiệt, cơ học và hóa học để đáp ứng các yêu cầu quy trình nghiêm ngặt.

Chất bán dẫn Vetek sử dụng công nghệ xử lý tiên tiến để đảm bảo phân bố nhiệt đồng đều của bộ nhớ trong phạm vi nhiệt độ hoạt động, tránh sự tăng trưởng không đồng nhất của lớp epiticular gây ra bởi độ dốc nhiệt độ. Xử lý chính xác kiểm soát độ nhám bề mặt, giảm thiểu ô nhiễm hạt và cải thiện hiệu suất dẫn nhiệt của tiếp xúc bề mặt wafer.

Chất bán dẫn Vetek sử dụng than chì SGL làm vật liệu và bề mặt được xử lýCVD SIC Lớp phủ, có thể chịu được NH3, HCl và bầu không khí nhiệt độ cao trong một thời gian dài. SIC của Vetek S bán dẫn SIC được phủ Deep UV LED Deep LED phù hợp với hệ số giãn nở nhiệt của các tấm epiticular ALN/GAN, làm giảm sự cong vênh hoặc nứt do ứng suất nhiệt trong quá trình này.

Quan trọng nhất, SIC của SIC bán dẫn Vetek đã phủ lên sự nhạy cảm của UV Deep UV thích nghi hoàn hảo với các thiết bị MOCVD chính thống (bao gồm Veeco K465i, Epik 700, Aixtron Crius, v.v.). Hỗ trợ các dịch vụ tùy chỉnh cho kích thước wafer (2 ~ 8 inch), thiết kế khe wafer, nhiệt độ xử lý và các yêu cầu khác.

Kịch bản ứng dụng:

● Chuẩn bị đèn LED UV sâu: Áp dụng cho quá trình epiticular của các thiết bị trong dải dưới 260nm (khử trùng UV-C, khử trùng và các trường khác).

● Epitaxy bán dẫn nitride: Được sử dụng để chuẩn bị epiticular các vật liệu bán dẫn như gallium nitride (GAN) và nhôm nitride (ALN).

● Các thí nghiệm epiticular cấp nghiên cứu: Deep UV epitaxy và các thí nghiệm phát triển vật liệu mới trong các trường đại học và tổ chức nghiên cứu.

Với sự hỗ trợ của một nhóm kỹ thuật mạnh mẽ, chất bán dẫn Vetek có thể phát triển các chất nhạy cảm với các thông số kỹ thuật và chức năng độc đáo theo nhu cầu của khách hàng, hỗ trợ các quy trình sản xuất cụ thể và cung cấp dịch vụ dài hạn.

Dữ liệu SEM của phim lớp phủ CVD SIC:

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD sic:

Nó bán dẫnCác cửa hàng sản phẩm SIC Deep UV LED LED: