Vòng hỗ trợ tráng SiC

Chất bán dẫn VeTek, nhà sản xuất và nhà cung cấp hàng đầu có trụ sở tại Trung Quốc, chuyên sản xuất nhiều loại sản phẩm bao gồmNhẫn hỗ trợ tráng sic, Lớp phủ cacbua silicon CVD, lớp phủ cacbua tantalum, sic số lượng lớn, bột sic và vật liệu sic tinh khiết cao. Sự cống hiến của chúng tôi nằm ở việc cung cấp hỗ trợ kỹ thuật toàn diện và độ phân giải sản phẩm tối ưu phù hợp với lĩnh vực bán dẫn. Hãy tiếp cận với chúng tôi để biết thêm thông tin và hỗ trợ.

Chất bán dẫn VeTek'SNhẫn hỗ trợ tráng siclà một thế hệ mới của vật liệu kháng nhiệt độ cao. Vì lớp phủ chống ăn mòn, lớp phủ chống oxy hóa và lớp phủ chống mài mòn, chúng có thể được sử dụng trong môi trường trên 1650 và được sử dụng rộng rãi trong các trường bán dẫn.

Các đặc điểm chất lượng cao củaNhẫn hỗ trợ tráng sicđóng một vai trò rất quan trọng trong sự tăng trưởng epiticular của các thành phần bán dẫn thế hệ thứ ba.

Duy trì tính đồng nhất nhiệt độ: Vòng hỗ trợ phủ SIC có độ dẫn nhiệt tuyệt vời và có thể cung cấp phân phối nhiệt độ đồng đều trong quá trình tăng trưởng epiticular. Điều này giúp giảm độ dốc nhiệt và ứng suất trên bề mặt wafer, do đó cải thiện chất lượng của lớp epiticular.

Sự ổn định hóa học cực đoan: Trong quá trình tăng trưởng epiticular,Nhẫn hỗ trợ tráng siccó thể chống lại sự tấn công hóa học từ khí phản ứng, kéo dài tuổi thọ của các vòng đỡ và duy trì tính toàn vẹn của quy trình. Tính ổn định hóa học này giúp giảm nguy cơ ô nhiễm và cải thiện độ tinh khiết cũng như hiệu suất của các thiết bị bán dẫn.

Định vị chính xác: Các vòng đỡ được phủ SiC có thể duy trì vị trí chính xác của tấm bán dẫn, điều này rất quan trọng để đạt được sự lắng đọng lớp đồng nhất. Việc định vị chính xác này giúp đảm bảo tính nhất quán về độ dày và chất lượng của lớp epitaxy.

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD SiC:

Đại lý bán dẫn:

Tổng quan về chuỗi ngành công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: