Trung tâm thu thập lớp phủ sic

Trung tâm thu gom lớp bán dẫn SIC SIC đóng vai trò quan trọng trong việc sản xuất quá trình EPI bán dẫn. Nó là một trong những thành phần chính được sử dụng để phân phối khí và kiểm soát trong buồng phản ứng epiticular.Lớp phủ sicVàLớp phủ TACtrong nhà máy của chúng tôi.

Vai trò của Trung tâm thu thập lớp phủ SIC như sau:

● Phân phối khí: Trung tâm thu thập lớp phủ SIC được sử dụng để đưa các loại khí khác nhau vào buồng phản ứng epiticular. Nó có nhiều cửa vào và các cửa hàng có thể phân phối các loại khí khác nhau cho các vị trí mong muốn để đáp ứng nhu cầu tăng trưởng epitical cụ thể.

● Kiểm soát khí: Trung tâm thu thập lớp phủ SIC đạt được điều khiển chính xác từng khí thông qua các van và thiết bị điều khiển dòng chảy. Kiểm soát khí chính xác này là điều cần thiết cho sự thành công của quá trình tăng trưởng epiticular để đạt được nồng độ và tốc độ dòng khí mong muốn, đảm bảo chất lượng và tính nhất quán của bộ phim.

● Tính đồng nhất: Thiết kế và bố cục của vòng thu khí trung tâm giúp đạt được sự phân bố khí đồng đều. Thông qua đường dẫn dòng khí hợp lý và chế độ phân phối, khí được trộn đều trong buồng phản ứng epiticular, để đạt được sự tăng trưởng đồng đều của bộ phim.

Trong việc sản xuất các sản phẩm epiticular, Trung tâm thu thập lớp phủ SIC đóng vai trò chính trong chất lượng, độ dày và tính đồng nhất của bộ phim. Thông qua phân phối và kiểm soát khí thích hợp, Trung tâm thu thập lớp phủ SIC có thể đảm bảo tính ổn định và nhất quán củaQuá trình tăng trưởng epiticular, để có được các bộ phim epitaxial chất lượng cao.

So với trung tâm thu gom than chì, Trung tâm thu thập SIC được cải thiện độ dẫn nhiệt, trơ hóa hóa học tăng cường và khả năng chống ăn mòn vượt trội. Lớp phủ silicon cacbua giúp tăng cường đáng kể khả năng quản lý nhiệt của vật liệu than chì, dẫn đến tính đồng nhất nhiệt độ tốt hơn và tăng trưởng màng nhất quán trong các quá trình epiticular. Ngoài ra, lớp phủ cung cấp một lớp bảo vệ chống ăn mòn hóa học, kéo dài tuổi thọ của các thành phần than chì. Nhìn chung,silicon cacbua được phủVật liệu than chì cung cấp độ dẫn nhiệt vượt trội, trơ hóa học và khả năng chống ăn mòn, đảm bảo sự ổn định tăng cường và tăng trưởng màng chất lượng cao trong các quá trình epiticular.

CVD SIC Film Crystal Cấu trúc:

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD sic

Nó bán dẫnTrung tâm thu thập lớp phủ sicCửa hàng sản xuất