VEECO MOCVD Providence

Nó bán dẫnVEECO MOCVDBộ cảm nhận wafer là một thành phần quan trọng, được thiết kế tỉ mỉ bằng cách sử dụng than chì siêu mạnh với mộtLớp phủ silicon cacbua (sic). Cái nàyLớp phủ sicCung cấp nhiều lợi ích, đáng chú ý nhất là cho phép chuyển nhiệt hiệu quả vào chất nền. Đạt được sự phân bố nhiệt tối ưu trên cơ chất là điều cần thiết để kiểm soát nhiệt độ đồng đều, đảm bảo lắng đọng màng mỏng nhất quán, chất lượng cao, rất quan trọng trong chế tạo thiết bị bán dẫn.

Thông số kỹ thuật

Ma trận thuộc tính vật liệu

Các chỉ số chính Vetek Các giải pháp truyền thống tiêu chuẩn

Độ tinh khiết vật liệu cơ bản 6n than chì đồng đẳng 5n than chì

Độ phù hợp CTE (25-1400 ℃)

Độ dẫn nhiệt @800 ℃ 110 W/M · K 85 W/M · K

Độ nhám bề mặt (RA) ≤0,1μm ≥0,5μm

Dung sai axit (pH = 1@80 ℃) 1500 chu kỳ 300 chu kỳ

Tái thiết lợi thế cốt lõi

Đổi mới quản lý nhiệt

Kỹ thuật kết hợp CTE nguyên tử

Nhật Bản Toyo carbon than chì/chất nền SGL + lớp phủ sic gradient

Ứng suất chu kỳ nhiệt giảm 82% (đo được 1400 ℃↔RT 500 chu kỳ mà không bị nứt)

Thiết kế trường nhiệt thông minh

Cấu trúc bù nhiệt độ 12 vùng: đạt được ± 0,5 độ đồng nhất trên bề mặt của wafer φ200mm

Đáp ứng nhiệt động: Độ dốc nhiệt độ ≤1,2 ℃/cm ở tốc độ gia nhiệt 5 ℃/s

Hệ thống bảo vệ hóa chất
Hàng rào ba tổng hợp

Lớp bảo vệ chính SIC dày đặc 50μm

Lớp chuyển tiếp Nanotac (tùy chọn)

Mật độ thâm nhiễm pha khí

Được xác minh bởi ASTM G31-21:

Tốc độ ăn mòn cơ sở CL <0,003mm/năm

NH3 tiếp xúc trong 1000h mà không ăn mòn ranh giới hạt

Hệ thống sản xuất thông minh

Xử lý sinh đôi kỹ thuật số

Trung tâm gia công năm trục: Độ chính xác vị trí ± 1,5μm

Kiểm tra quét 3D trực tuyến: Xác minh kích thước đầy đủ 100% (theo ASME Y14.5)

Trình bày giá trị dựa trên kịch bản

Sản xuất khối lượng bán dẫn thế hệ thứ ba

Thông số quy trình ứng dụng Quy trình của khách hàng

GaN Hemt 6 inch /150μm Biến động mật độ khí hai chiều epiticularal

SIC MOSFET C TUYỆT VỜI TUYỆT VỜI TUYỆT VỜI ± 3% Độ lệch điện áp ngưỡng giảm 40%

Tỷ lệ thùng chip LED LED ± 1,2nm tăng 15%

Tối ưu hóa chi phí bảo trì

Thời gian làm sạch được kéo dài 3 lần: HF: HNO = 1: 3 Làm sạch cường độ cao được hỗ trợ

Hệ thống dự đoán cuộc sống phụ tùng: Độ chính xác của thuật toán AI là ± 5%

Vetek S bán dẫn Veoeco MOCVD Các cửa hàng nhạy cảm: