Vòng phủ lò dọc sic

Trong các lò dọc, việc sử dụng các vòng phủ SIC là một giải pháp phổ biến, chủ yếu được sử dụng trong các quá trình xử lý nhiệt ở nhiệt độ cao củatấm bán dẫn. Các vòng phủ SIC của lò theo chiều dọc là các thành phần hiệu suất cao, hiệu suất cao, nhiệt độ cao được sử dụng để hỗ trợ hoặc bảo vệ tấm wafer để đảm bảo tính ổn định và độ tin cậy của quá trình.

Chức năng của vòng phủ SiC lò đứng

● Chức năng

Vai trò hỗ trợ. Được sử dụng để hỗ trợ các tấm wafer để đảm bảo sự ổn định và vị trí chính xác của chúng trong các lò nhiệt độ cao.

●  Bảo vệ chống ăn mòn

Ngăn chặn khí hoặc hóa chất ăn mòn không ăn mòn vật liệu cơ sở.

●  Giảm ô nhiễm

Lớp phủ SIC tinh khiết cao có thể ngăn ngừa sự rụng hạt và ô nhiễm tạp chất một cách hiệu quả để đảm bảo sự sạch sẽ của quá trình.

●  Điện trở nhiệt độ cao

Duy trì các đặc tính cơ học tuyệt vời và độ ổn định kích thước trong môi trường nhiệt độ cao (thường trên 1000°C).

Các tính năng của vòng phủ SiC lò đứng

●  Độ cứng và sức mạnh cao

Vật liệu SIC có sức mạnh cơ học tuyệt vời và có thể chịu được ứng suất nhiệt độ cao trong lò.

●  Ổn định nhiệt tốt

Độ dẫn nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp của SiC giúp giảm căng thẳng nhiệt.

●  Độ ổn định hóa học mạnh mẽ

Lớp phủ SIC có thể chống ăn mòn trong môi trường oxy hóa, axit hoặc kiềm.

●  Ô nhiễm hạt thấp

Bề mặt mịn làm giảm khả năng tạo ra hạt, đặc biệt phù hợp với môi trường cực kỳ sạch của sản xuất chất bán dẫn.

Được sử dụng để khuếch tán, oxy hóa, ủ và các quá trình khác trong lò nung thẳng đứng để hỗ trợ các tấm silicon và ngăn ngừa ô nhiễm hạt trong quá trình xử lý nhiệt.

Sản xuất vật liệu và quy trình

● Chất nền: Được làm bằng than chì SGL chất lượng cao, chất lượng được đảm bảo.

● Lớp phủ: Lớp phủ silicon được áp dụng cho bề mặt than chì bằng cách lắng đọng hơi hóa học (CVD).

● Độ dày lớp phủ thường nằm trong khoảng 50 ~ 500μm, được điều chỉnh theo các yêu cầu sử dụng.

● Lớp phủ SIC lắng đọng hơi hóa học có độ tinh khiết và mật độ cao hơn, và độ bền tốt hơn.

Chọn thích hợplớp phủ SiCVòng theo đường kính của wafer silicon trong lò và thông số kỹ thuật của tàu sân bay. Chúng tôi có thể tùy chỉnh nó cho bạn. Độ tinh khiết cao, lớp phủ dày đặc hơn và ít gây ô nhiễm hơn. Thay thế theo tần suất sử dụng và yêu cầu xử lý để tránh ô nhiễm hoặc hỗ trợ thất bại do lão hóa lớp phủ.

Là một nhà cung cấp và nhà sản xuất vòng tròn SIC SIC chuyên nghiệp tại Trung Quốc, bộ bán dẫn Vetek từ lâu đã cam kết cung cấp công nghệ lò dọc và giải pháp sản phẩm tiên tiến cho ngành công nghiệp bán dẫn. Chúng tôi chân thành mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

CẤU TRÚC TINH THỂ PHIM CVD SIC

Tính chất vật lý cơ bản của lớp phủ CVD sic

Chất bán dẫn VeTekCửa hàng vòng phủ SiC lò đứng: