AMAT Cover Top Quartz 8 inch PCII

AMAT Cover Top Quartz 8 inch PCII (Mã bộ phận 0200-00218) là thành phần thạch anh có độ tinh khiết cao được thiết kế để sử dụng trong buồng xử lý PVD 200mm (8 inch), tương thích đặc biệt với nền tảng Vật liệu Ứng dụng Endura® (buồng PCII).

Được sản xuất từ ​​thạch anh nung chảy có độ tinh khiết cực cao, thành phần này đóng vai trò quan trọng trong việc duy trì môi trường lắng đọng sạch sẽ và ổn định bằng cách giảm thiểu ô nhiễm và đảm bảo hoạt động ổn định của plasma.

Tại Vetek Semiconductor, chúng tôi cung cấp các bộ phận thạch anh được chế tạo chính xác với khả năng kiểm soát vật liệu và độ chính xác về kích thước nghiêm ngặt, cung cấp các lựa chọn thay thế đáng tin cậy cho các nhà cung cấp dịch vụ thiết bị và nhà máy bán dẫn.

Thông số kỹ thuật chính:

Quy trình ứng tuyển & Vị trí phòng

Lớp vỏ thạch anh này được thiết kế đặc biệt cho quá trình phún xạ PVD, được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn để lắng đọng màng mỏng kim loại như nhôm (Al), titan (Ti) và đồng (Cu).

Vị trí buồng

Thành phần này được lắp đặt ở phần trên của buồng PVD, thường được gọi là vùng nắp trên, nơi nó tiếp xúc với:

● Vùng phóng plasma

● Xử lý đường dẫn dòng khí

● Môi trường lắng đọng hạt kim loại

Vai trò chức năng trong phòng

Trong cấu trúc buồng, Cover Top Quartz đóng vai trò như một hàng rào bảo vệ phi kim loại và thành phần cách điện, được đặt phía trên tấm bán dẫn và gần vùng mục tiêu.

Vị trí của nó rất quan trọng đối với:

● Che chắn các thành phần buồng nhạy cảm khỏi sự lắng đọng kim loại

● Duy trì cách điện trong môi trường plasma RF

● Hỗ trợ các điều kiện quy trình ổn định và có thể lặp lại

Chức năng cốt lõi & Ưu điểm về hiệu suất

1) Kiểm soát ô nhiễm

Trong quá trình PVD, các nguyên tử kim loại phún xạ có xu hướng lắng đọng không chỉ trên các tấm bán dẫn mà còn trên các bề mặt buồng bên trong.

Vỏ thạch anh này:

● Hoạt động như một lớp bảo vệ hy sinh

● Ngăn chặn sự tích tụ kim loại trên các cấu trúc buồng quan trọng

● Giảm việc tạo hạt và lây nhiễm chéo

Kết quả: Cải thiện năng suất wafer và độ sạch của quy trình

2) Độ ổn định của plasma và cách điện

Nhờ đặc tính điện môi tuyệt vời, thạch anh có độ tinh khiết cao đảm bảo:

● Phân bố trường RF ổn định

● Giảm nguy cơ nhiễu điện

● Mật độ huyết tương nhất quán trong các chu kỳ xử lý

Kết quả: Tăng cường tính đồng nhất và độ lặp lại của màng

3) Độ tinh khiết của vật liệu vượt trội

Vetek Semiconductor sử dụng vật liệu thạch anh có độ tinh khiết cực cao để giảm thiểu việc đưa tạp chất vào.

● Ô nhiễm kim loại thấp

● Giảm thiểu lượng khí thoát ra trong điều kiện chân không

● Thích hợp cho các nút bán dẫn tiên tiến

Kết quả: Đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt về độ sạch ở cấp độ nhà sản xuất

4) Khả năng chịu nhiệt và plasma tuyệt vời

Thành phần này được thiết kế để chịu được:

● Xói mòn plasma và bắn phá ion

● Chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại

Kết quả: Tuổi thọ dài hơn và giảm tần suất bảo trì

5) Thiết kế tiêu hao hiệu quả về chi phí

Là vật tư tiêu hao trong buồng có thể thay thế, bộ phận này:

● Bảo vệ phần cứng buồng đắt tiền

● Đơn giản hóa chu kỳ bảo trì

● Giảm tổng chi phí sở hữu (TCO)

Tại sao chọn chất bán dẫn Vetek?

Tại Vetek Semiconductor, chúng tôi kết hợp kiến ​​thức chuyên môn về khoa học vật liệu với hiểu biết về quy trình bán dẫn để cung cấp các linh kiện thạch anh hiệu suất cao.

Ưu điểm của chúng tôi:

● Gia công chính xác với dung sai chặt chẽ

● Lựa chọn nguyên liệu thô và truy xuất nguồn gốc nghiêm ngặt

● Đã được chứng minh khả năng tương thích với nền tảng AMAT Endura

● Nguồn cung ổn định cho khách hàng bán dẫn toàn cầu

● Hỗ trợ kỹ thuật cho việc tùy chỉnh và tối ưu hóa