Tập trung vòng để khắc

Vòng khắc silicon đơn tinh thể là các thành phần thiết yếu trong các quá trình khắc bán dẫn bằng cách duy trì sự ổn định của môi trường plasma, bảo vệ thiết bị và tấm wafer, tối ưu hóa việc sử dụng tài nguyên và điều chỉnh theo yêu cầu quy trình nâng cao. Hiệu suất của nó ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất và chi phí sản xuất chip.

Vòng lấy nét khắc, điện cực và vv (bộ điều khiển nhiệt độ cạnh) là các vật dụng cốt lõi để đảm bảo tính đồng nhất plasma, kiểm soát nhiệt độ và lặp lại quá trình. Các thành phần này được lắp ráp chính xác trong buồng chân không của CVD, khắc và thiết bị phim và xác định trực tiếp độ chính xác và năng suất của việc khắc từ cạnh đến trung tâm của wafer.

Để đáp ứng nhu cầu nghiêm ngặt về các tính chất vật liệu trong các quy trình sản xuất cao cấp, Veteksemi đổi mới bằng cách sử dụng silicon đơn tinh thể cao với điện trở suất 10-20Ω · cm để sản xuất các vòng tập trung và hỗ trợ hàng tiêu dùng. Thông qua tối ưu hóa hợp tác của khoa học vật liệu, thiết kế điện và nhiệt động lực học, Veteksemi có thể sản xuất các vòng tập trung và hỗ trợ hàng tiêu dùng. Toàn diện vượt qua các giải pháp thạch anh truyền thống để đạt được những cải tiến đột phá về tuổi thọ, độ chính xác và hiệu quả chi phí.

So sánh vật liệu cốt lõi và tối ưu hóa điện trở suất

Silicon Monocrystalline Vs. Quartz

Sản phẩm Core Advantage

1. Độ chính xác của quy trình cấp nguyên tử

Tối ưu hóa điện trở suất + đánh bóng cực kỳ chính xác (RA <0,1μm) giúp loại bỏ nhiễm độc micro và ô nhiễm hạt để đáp ứng các tiêu chuẩn bán F47.

Mất điện môi (TanΔ <0,001) rất phù hợp với môi trường điện môi wafer, tránh biến dạng điện trường cạnh và hỗ trợ khắc 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 °.

2. Khả năng tương thích hệ thống thông minh

Được tích hợp với mô -đun điều khiển nhiệt độ cạnh ETC, lưu lượng không khí làm mát được điều chỉnh động bởi thuật toán nhiệt và AI để bù độ trôi nhiệt của buồng.

Hỗ trợ mạng khớp RF tùy chỉnh, phù hợp cho các máy chính như Amat Centura, Lam Research KIYO và ICP/ĐCSTRE PLASMA.

3. Hiệu quả chi phí toàn diện

Tuổi thọ của silicon đơn tinh thể dài hơn 275% so với thạch anh, chu kỳ bảo trì là hơn 3.000 giờ và chi phí toàn diện về quyền sở hữu (TCO) giảm 30%.

Dịch vụ tùy chỉnh độ dốc điện trở (5-100Ω · cm), khớp chính xác với cửa sổ quy trình khách hàng (như vật liệu khắc dải rộng GaN/sic).

Ảnh hưởng của điện trở suất

Điều khoản thương mại sản phẩm

Số lượng đơn hàng tối thiểu	1 bộ
Giá	Liên hệ để báo giá tùy chỉnh
Chi tiết đóng gói	Gói xuất tiêu chuẩn
Thời gian giao hàng	Thời gian giao hàng: 30-35 ngày sau khi xác nhận đơn đặt hàng
Điều khoản thanh toán	T/t
Khả năng cung cấp	600 bộ/tháng