Bình thạch anh lớp bán dẫn

Bình chuông thạch anh cấp bán dẫn được làm bằng vật liệu thạch anh có độ tinh khiết cao. Nó có độ ổn định nhiệt tuyệt vời và khả năng chống ăn mòn mạnh, được sử dụng trong nhiều lĩnh vực. Trong ngành bán dẫn: Bình chuông thạch anh cấp bán dẫn cung cấp môi trường được kiểm soát để lắng đọng màng mỏng trên các tấm bán dẫn trong quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD). Bình chuông thạch anh cấp bán dẫn cũng được sử dụng trong các quy trình đòi hỏi công nghệ chân không, chẳng hạn như sản xuất lớp phủ quang học, lớp phủ kim loại và các loại vật liệu màng mỏng khác. Bình chuông thạch anh cấp bán dẫn cũng cần thiết trong nhiều thí nghiệm khoa học vật lý và vật chất đòi hỏi môi trường kín chân không, có độ tinh khiết cao.

Các tình huống sử dụng trong ngành bán dẫn:

Polysilicon là một vật liệu silicon bao gồm nhiều hạt nhỏ, được sử dụng rộng rãi trong các mạch tích hợp, pin mặt trời và các lĩnh vực khác. Lắng đọng hơi hóa học (CVD) là một trong những phương pháp chính để điều chế silicon đa tinh thể. Nguyên tắc cơ bản là khí nguồn silicon, chẳng hạn như SiH4, bị phân hủy ở nhiệt độ cao và lắng đọng trên chất nền để tạo thành silicon đa tinh thể:

SIHCL3 + H2 SI + 3HCL

Trong điều kiện nhiệt độ và chân không cao, khí nguồn silicon được đưa vào quá trình lắng đọng hơi hóa học. Cuối cùng cũng thu được silicon đa tinh thể. Bình chuông thạch anh cấp bán dẫn là một phần quan trọng của lò phản ứng CVD silicon đa tinh thể.

Lò phản ứng Silicon CVD đa tinh thể

Dưới phản ứng nhiệt độ cao của CVD, Bình chuông thạch anh cấp bán dẫn có thể cung cấp một môi trường nhiệt đồng đều. Khả năng chịu nhiệt độ cao của vật liệu Thạch anh có độ tinh khiết cao (có thể chịu được nhiệt độ lên tới khoảng 1100°C) giúp nó hoạt động ổn định trong các phản ứng CVD và đảm bảo phân bổ nhiệt độ đồng đều trong khu vực phản ứng. Trong quy trình CVD, có nhiều thành phần khí độc hại, chẳng hạn như PH3, v.v. Bình chuông thạch anh cấp bán dẫn có thể cách ly hiệu quả các khí hóa học trong buồng phản ứng với môi trường bên ngoài để ngăn chặn rò rỉ khí độc hại. Khả năng chống ăn mòn của vật liệu Thạch anh có độ tinh khiết cao còn giúp các vật liệu khác có thể hoạt động ổn định lâu dài trong quá trình CVD và không dễ bị ăn mòn hay hư hỏng.

Bình chuông thạch anh được sử dụng kết hợp với ống bảo quản nhiệt thạch anh và thuyền thạch anh thẳng đứng, chủ yếu được sử dụng trong quy trình epiticular của sản xuất chip mạch tích hợp bán dẫn. Lò epiticular thường sử dụng cấu trúc thẳng đứng, với bình chuông thạch anh ở bên ngoài thuyền thạch anh thẳng đứng và ống bảo quản nhiệt thạch anh làm giá đỡ.

Một ứng dụng điển hình khác của Bình chuông thạch anh cấp bán dẫn trong môi trường nhiệt độ cao: Để làm nóng một loạt các bộ phận chỉnh nha đến 704oC trong vòng 1 giây trong môi trường trơ ​​để hàn:

VeTek Semiconductor có đội ngũ kỹ thuật trưởng thành. Cho dù bạn cần hình dạng hay chất liệu nào của Bình chuông thạch anh có độ tinh khiết cao, chúng tôi đều có thể điều chỉnh nó cho bạn.

Cửa hàng sản phẩm bán dẫn Vetek: