Chất nhạy cảm than chì được phủ SiC cho ASM

Thông tin chung về sản phẩm

Điều kiện kinh doanh sản phẩm

✔ Ứng dụng: Chất nền than chì phủ Veteksemian SiC là vật liệu tiêu hao chính cho thiết bị epiticular dòng ASM. Nó hỗ trợ trực tiếp cho tấm bán dẫn và cung cấp trường nhiệt đồng đều và ổn định trong quá trình epitaxy ở nhiệt độ cao, khiến nó trở thành thành phần cốt lõi để đảm bảo sự phát triển chất lượng cao của các vật liệu bán dẫn tiên tiến như GaN và SiC.

✔ Dịch vụ có thể được cung cấp: phân tích kịch bản ứng dụng của khách hàng, vật liệu phù hợp, giải quyết vấn đề kỹ thuật. 

✔ Hồ sơ công ty：Veteksemicon có 2 phòng thí nghiệm, đội ngũ chuyên gia có 20 năm kinh nghiệm về vật liệu, có năng lực R&D và sản xuất, thử nghiệm và xác minh.

Thông số kỹ thuật

Chất nhạy cảm than chì được phủ Veteksemian SiC mang lại lợi ích cốt lõi ASM

1. Độ tinh khiết cực cao và tỷ lệ lỗi thấp

Sử dụng chất nền than chì đặc biệt cấp hạt mịn, độ tinh khiết cao, kết hợp với quy trình phủ lắng đọng hơi hóa học (CVD) được kiểm soát chặt chẽ, chúng tôi đảm bảo rằng lớp phủ dày đặc, không có lỗ kim và không có tạp chất. Điều này làm giảm đáng kể nguy cơ ô nhiễm hạt trong quá trình epiticular, cung cấp môi trường nền sạch cho sự phát triển của các lớp epiticular chất lượng cao.

2. Khả năng chống ăn mòn và chống mài mòn tuyệt vời

Lớp phủ cacbua silic nhiệt phân sở hữu độ cứng và độ trơ hóa học cực cao, chống ăn mòn hiệu quả các nguồn silicon (như SiH4, SiHCl3), nguồn carbon (như C3H8) và khí ăn mòn (như HCl, H2) ở nhiệt độ cao. Điều này kéo dài đáng kể chu kỳ bảo trì của đế và giảm thời gian ngừng hoạt động của máy do thay thế linh kiện.

3. Tính đồng nhất và ổn định nhiệt tuyệt vời

Chúng tôi đã tối ưu hóa sự phân bổ trường nhiệt trong phạm vi nhiệt độ vận hành thông qua thiết kế cấu trúc bề mặt chính xác và kiểm soát độ dày lớp phủ. Điều này trực tiếp chuyển thành độ dày tuyệt vời và độ đồng đều điện trở suất trong tấm wafer epiticular, góp phần cải thiện năng suất sản xuất chip.

4. Độ bám dính lớp phủ tuyệt vời

Công nghệ tiền xử lý bề mặt và lớp phủ gradient độc đáo cho phép lớp phủ silicon cacbua tạo thành một lớp liên kết mạnh mẽ với chất nền than chì, ngăn ngừa hiệu quả các vấn đề bong tróc, bong tróc hoặc nứt lớp phủ có thể xảy ra trong quá trình luân chuyển nhiệt lâu dài.

5. Kích thước chính xác và sao chép cấu trúc

Chúng tôi sở hữu khả năng gia công và thử nghiệm CNC hoàn thiện, cho phép chúng tôi sao chép hoàn toàn hình học phức tạp, kích thước khoang và giao diện lắp của đế ban đầu, đảm bảo chức năng cắm và chạy hoàn hảo với nền tảng của khách hàng.

6. Chứng thực xác minh chuỗi sinh thái

Chất nhạy cảm than chì được phủ Veteksemian SiC để xác minh chuỗi sinh thái của ASM bao gồm nguyên liệu thô cho sản xuất, đã đạt chứng nhận tiêu chuẩn quốc tế và có một số công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo độ tin cậy và tính bền vững của nó trong lĩnh vực bán dẫn và năng lượng mới.

Để biết thông số kỹ thuật chi tiết, sách trắng hoặc sắp xếp thử nghiệm mẫu, vui lòng liên hệ với Nhóm hỗ trợ kỹ thuật của chúng tôi để khám phá cách Veteksemian có thể nâng cao hiệu quả quy trình của bạn.

Các lĩnh vực ứng dụng chính

Cửa hàng sản phẩm Veteksemiaon