Bộ sưu tập lớp phủ SIC SIC

Bán dẫn Vetek là nhà sản xuất cam kết cung cấp chất lượng caoCVD TAC Lớp phủvà CVD SIC Lớp phủ Bộ sưu tập dưới cùng và hợp tác chặt chẽ với thiết bị Aixtron để đáp ứng nhu cầu của khách hàng. Cho dù trong quá trình tối ưu hóa hoặc phát triển sản phẩm mới, chúng tôi đã sẵn sàng cung cấp cho bạn hỗ trợ kỹ thuật và trả lời bất kỳ câu hỏi nào bạn có thể có.

Chức năng cốt lõi sản phẩm

Đảm bảo ổn định quá trình

Kiểm soát độ dốc nhiệt độ: ±1,5℃/cm@1200℃

Tối ưu hóa trường dòng chảy: Thiết kế kênh đặc biệt làm cho tính đồng nhất phân phối khí phản ứng lên tới 92,6%

Cơ chế bảo vệ thiết bị

Bảo vệ kép:

Bộ đệm sốc nhiệt: Chịu được sự thay đổi nhiệt độ nhanh 10/s

Hạt đánh bắt: bẫy> 0,3μm hạt trầm tích

Trong lĩnh vực công nghệ tiên tiến

Toàn bộ quy trình kiểm soát chất lượng

Hệ thống truy xuất nguồn gốc sản xuất

Nguồn nguyên liệu thô: Tokai/Toyo Graphite từ Nhật Bản, SGL Graphite từ Đức

Giám sát sinh đôi kỹ thuật số: Mỗi thành phần được khớp với cơ sở dữ liệu tham số quy trình độc lập

Kịch bản ứng dụng:

Sản xuất bán dẫn thế hệ thứ ba

Kịch bản: Tăng trưởng epiticular SIC 6 inch (kiểm soát độ dày 100-150μm)

Mô hình tương thích: Aixtron G5 WW/Crius II

Bằng cách sử dụng AIXTRON SIC Colat Collector Top, Center Center và SIC Colat Collector, quản lý nhiệt và bảo vệ hóa chất trong các quy trình sản xuất bán dẫn có thể đạt được, môi trường tăng trưởng phim có thể được tối ưu hóa, và chất lượng và tính nhất quán của phim có thể được cải thiện. Sự kết hợp của các thành phần này trong thiết bị Aixtron đảm bảo các điều kiện quá trình ổn định và sản xuất chất bán dẫn hiệu quả.

Dữ liệu SEM của phim CVD sic