Bộ thu Epi phủ SiC

Vetek S bán dẫn là nhà sản xuất chuyên nghiệp tại Trung Quốc vì do đó lớp phủ EPI được thực hiện.

Lớp phủ SiC của VeTek Semiconductor Epi Susceptor được làm bằng than chì và cacbua silic. Sản phẩm Lớp phủ SiC này sử dụng than chì nhập khẩu, có hiệu suất ổn định hơn và tuổi thọ dài hơn, được khách hàng Châu Âu và Châu Mỹ đánh giá cao. Đồng thời, nồng độ chất nhạy cảm SiC Coating Epi dưới 5ppm và độ đồng đều rất tốt. Sau khi liên tục nâng cấp công nghệ, VeTek Semiconductor sử dụng quy trình mới để tạo ra sự kết hợp tốt giữa hệ số giãn nở nhiệt của lớp phủ SiC và vật liệu than chì.

SiC Coating Epi Susceptor được sử dụng đặc biệt trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn trong thiết bị bán dẫn. Chất nhạy cảm Epi phủ SiC Coating thường được sử dụng trong các thiết bị như AIXTRON, đặc biệt là trong quy trình epit Wax tia cực tím sâu (DUV Epitaxy), đóng một vai trò quan trọng.

Trong quy trình epit Wax cực tím sâu (DUV Epitaxy), kết hợp với khả năng chịu nhiệt độ cao và chống ăn mòn tuyệt vời của SiC Coating Epi Susceptor, SiC Coating Epi Susceptor thường được lắp đặt xung quanh buồng phản ứng trong thiết bị AIXTRON như một chất mang trong quá trình epit Wax từ làm hỏng hoặc làm nhiễm bẩn thiết bị.

Chất nhạy cảm Epi của lớp phủ SiC này được thiết kế để sử dụng cho quá trình epitaxy tia cực tím sâu. Chúng tôi kiểm soát chặt chẽ lớp phủ cacbua silic, kết hợp công nghệ lớp đệm để giảm thiểu các vấn đề gây ra bởi sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp phủ than chì và cacbua silic, từ đó kéo dài tuổi thọ của sản phẩm. Hiện tại, sản phẩm của chúng tôi đã nhận được nhiều giải thưởng và được công nhận là một trong những sản phẩm tốt nhất trên thị trường trong nước.

Với tư cách là công ty dẫn đầu ngành về các sản phẩm Lớp phủ SiC, VeTek Semiconductor hỗ trợ các dịch vụ tùy chỉnh sản phẩm và giá sản phẩm hài lòng, đồng thời mong nhận được sự tư vấn thêm của bạn.

Dữ liệu SEM của phim CVD SIC:

Cửa hàng sản phẩm Váy phủ SiC bán dẫn VeTek:

Tổng quan về chuỗi công nghiệp epitaxy chip bán dẫn: