Vòng cacbua tantalum

Vòng cacbua tantalum (TAC) của Vetek S bán dẫn sử dụng than chì chất lượng cao làm vật liệu cốt lõi và nhờ cấu trúc độc đáo của nó, có thể duy trì hình dạng và tính chất cơ học của nó trong điều kiện khắc nghiệt của lò tăng trưởng tinh thể. Điện trở nhiệt cao của than chì mang lại cho nó sự ổn định tuyệt vời trong suốtQuá trình tăng trưởng tinh thể.

Lớp ngoài của vòng TAC được bao phủ bởi mộtLớp phủ cacbua tantalum, một vật liệu được biết đến với độ cứng cực cao, điểm nóng chảy trên 3880 ° C và khả năng chống ăn mòn hóa học tuyệt vời, làm cho nó đặc biệt phù hợp với môi trường hoạt động ở nhiệt độ cao. Lớp phủ cacbua tantalum cung cấp một rào cản mạnh mẽ để ngăn chặn hiệu quả các phản ứng hóa học bạo lực và đảm bảo rằng lõi than chì không bị ăn mòn bởi các khí nhiệt độ cao.

Trong lúcSilicon cacbua (sic) Tăng trưởng tinh thể, điều kiện tăng trưởng ổn định và đồng đều là chìa khóa để đảm bảo các tinh thể chất lượng cao. Vòng phủ cacbua tantalum đóng vai trò quan trọng trong việc điều chỉnh lưu lượng khí và tối ưu hóa phân phối nhiệt độ trong lò. Là một vòng dẫn khí, vòng TAC đảm bảo phân bố năng lượng nhiệt và khí phản ứng đồng đều, đảm bảo sự tăng trưởng đồng đều và sự ổn định của các tinh thể SIC.

Ngoài ra, độ dẫn nhiệt cao của than chì kết hợp với tác dụng bảo vệ của lớp phủ cacbua tantalum cho phép vòng hướng dẫn TAC hoạt động ổn định trong môi trường nhiệt độ cao cần thiết cho sự phát triển của tinh thể SIC. Sức mạnh cấu trúc và sự ổn định kích thước của nó là rất quan trọng để duy trì các điều kiện trong lò, ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng của các tinh thể được tạo ra. Bằng cách giảm biến động nhiệt và phản ứng hóa học trong lò, vòng phủ TAC giúp tạo ra các tinh thể có tính chất điện tử tuyệt vời cho các ứng dụng bán dẫn hiệu suất cao.

Vòng cacbua tantalum của chất bán dẫn Vetek là một thành phần quan trọng củaLò tăng trưởng tinh thể cacbua siliconvà nổi bật vì độ bền tuyệt vời, độ ổn định nhiệt và kháng hóa chất. Sự kết hợp độc đáo của nó giữa Lõi than chì và Lớp phủ TAC cho phép nó duy trì tính toàn vẹn và chức năng cấu trúc trong các điều kiện khắc nghiệt. Bằng cách kiểm soát chính xác nhiệt độ và dòng khí trong lò, vòng phủ TAC cung cấp các điều kiện cần thiết cho việc sản xuất các tinh thể SIC chất lượng cao, rất quan trọng để sản xuất thành phần bán dẫn tiên tiến.

Lớp phủ cacbua tantalum (TAC) trên mặt cắt bằng kính hiển vi：