Người mang wafer vệ tinh Aixtron

Người mang wafer vệ tinh Aixtron là một phần không thể thiếu của thiết bị Aixtron MOCVD, được sử dụng đặc biệt để mang theo tấm wafer để tăng trưởng epiticular. Nó đặc biệt phù hợp vớiTăng trưởng epiticularQuá trình các thiết bị GaN và silicon cacbua (sic). Thiết kế "vệ tinh" độc đáo của nó không chỉ đảm bảo tính đồng nhất của dòng khí, mà còn cải thiện tính đồng nhất của lắng đọng phim trên bề mặt wafer.

Aixtron'sNgười vận chuyển waferthường được làm bằngCarbide silicon (sic)hoặc than chì được phủ CVD. Trong số đó, silicon cacbua (SIC) có độ dẫn nhiệt tuyệt vời, điện trở nhiệt độ cao và hệ số giãn nở nhiệt thấp. CVD Ván than chì là than chì được phủ một màng cacbua silicon thông qua quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD), có thể tăng cường khả năng chống ăn mòn và cường độ cơ học. Vật liệu than chì SIC và lớp phủ có thể chịu được nhiệt độ lên tới 1.400 ° CTHER 1.600 ° C và có độ ổn định nhiệt tuyệt vời ở nhiệt độ cao, rất quan trọng đối với quá trình tăng trưởng epiticular.

Trao đổi wafer vệ tinh Aixtron chủ yếu được sử dụng để mang và xoay các tấm vải trongQuá trình MOCVDĐể đảm bảo lưu lượng khí đồng đều và lắng đọng đồng đều trong quá trình tăng trưởng epiticular.Các chức năng cụ thể như sau:

● Xoay wafer và lắng đọng đồng nhất: Thông qua sự quay của chất mang vệ tinh Aixtron, wafer có thể duy trì sự di chuyển ổn định trong quá trình tăng trưởng epiticular, cho phép khí chảy đều trên bề mặt wafer để đảm bảo sự lắng đọng đồng đều của vật liệu.

● Vòng bi và ổn định nhiệt độ cao: Cacbua silicon hoặc vật liệu than chì được phủ có thể chịu được nhiệt độ lên tới 1.400 ° CTHER 1.600 ° C. Tính năng này đảm bảo rằng wafer sẽ không biến dạng trong quá trình tăng trưởng epiticular nhiệt độ cao, đồng thời ngăn chặn sự giãn nở nhiệt của chính chất mang ảnh hưởng đến quá trình epiticular.

● Giảm tạo hạt: Các vật liệu chất mang chất lượng cao (như SIC) có bề mặt nhẵn làm giảm sự tạo ra hạt trong quá trình lắng đọng hơi, do đó giảm thiểu khả năng ô nhiễm, rất quan trọng để tạo ra vật liệu bán dẫn chất lượng cao, tinh khiết cao.

Nhà cung cấp wafer vệ tinh Aixtron Veteksemon có sẵn trong các kích thước wafer 100mm, 150mm, 200mm và thậm chí lớn hơn và có thể cung cấp các dịch vụ sản phẩm tùy chỉnh dựa trên các yêu cầu về thiết bị và quy trình của bạn. Chúng tôi chân thành hy vọng sẽ trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

Dữ liệu SEM của cấu trúc tinh thể màng CVD SIC：

Các cửa hàng sản xuất tàu sân bay bằng vệ tinh Aixtron: