Mâm cặp tĩnh điện bằng gốm nhôm Nitride (AlN)

1.Thuận lợi

• Gốm AlN có độ tinh khiết cao với độ dẫn nhiệt lên tới ~180 W/m·K giúp truyền nhiệt hiệu quả và đồng đều nhiệt độ

• Cách điện mạnh và điện trở suất lớn hỗ trợ kẹp ổn định ở mức 1–3 kV (có sẵn điện áp cao hơn)

• Vật liệu lớp điện môi tùy chỉnh và bố trí điện cực: Coulomb hoặc Johnsen–Rahbek (JR); đơn hoặc đa vùng

• Hiệu suất kẹp và tháo kẹp nhanh, thường dưới 0,1 giây

• Các cấu trúc vi mô lúm đồng tiền trên bề mặt có đường kính xuống tới ~300 μm, giảm diện tích tiếp xúc xuống mức ~1%

• Khả năng làm phẳng cao; độ phẳng toàn cầu điển hình ở mức 0,5–3 μm PV cho nền lớp 300 mm

• Cấu trúc vi mô dày đặc với khả năng hấp thụ nước gần như bằng không và khả năng kháng hóa chất tốt cho môi trường xử lý

2.Ứng dụng điển hình

Mâm cặp tĩnh điện bằng gốm nhôm Nitride được sử dụng trong các bước quy trình yêu cầu giữ tấm bán dẫn an toàn và kiểm soát hoạt động nhiệt:

• Khắc axit khô (ICP/RIE) và các quy trình buồng liên quan

• CVD, PEALD, ALD nhiệt và các giai đoạn lắng đọng màng mỏng khác

• Các mô-đun ủ và xử lý nhiệt yêu cầu nhiệt độ wafer đồng đều

• Các giai đoạn kiểm tra, đo lường và độ chính xác trong đó tỷ lệ hạt thấp và khả năng kẹp ổn định là rất quan trọng

3.Lớp vật liệu AlN - Thuộc tính điển hình

VeTek cung cấp nhiều loại Nhôm Nitride để cân bằng độ dẫn nhiệt, độ bền cơ học và chi phí cho các thiết kế ESC:

Đơn vị: Độ dẫn nhiệt tính bằng W/(m·K); độ bền điện môi tính bằng kV/mm; điện trở suất tính bằng Ω·cm (25 °C); hằng số điện môi ở tần số 1 MHz. Các giá trị là điển hình và có thể thay đổi theo quy trình và hình dạng bộ phận.

4.Thông số thiết kế ESC điển hình

5.Tại sao Choose VeTek AlN Đầu cặp tĩnh điện?

VeTek Semiconductor tích hợp gốm AlN tiên tiến với quy trình sản xuất ESC chính xác dành cho những khách hàng bán dẫn cần cả hiệu suất nhiệt và khả năng kẹp đáng tin cậy:

• Nhiều loại AlN có độ dẫn nhiệt từ ~90 đến ~180 W/m·K để phù hợp với ngân sách nhiệt của quy trình

• Thiết kế điện cực và điện môi linh hoạt cho hoạt động kẹp Coulomb hoặc JR

• Kiểm soát chặt chẽ độ phẳng, cấu trúc bề mặt và hiệu suất cách điện

• Hỗ trợ toàn bộ vòng đời: thiết kế, xây dựng mới và tân trang theo nhiều cấp độ

Đối với các dụng cụ khắc axit, lắng đọng và nhiệt phụ thuộc vào nhiệt độ wafer đồng đều và khả năng kẹp sạch, có thể lặp lại, Đầu cặp tĩnh điện bằng gốm VeTek Aluminium Nitride cung cấp nền tảng gốm hiệu suất cao được hỗ trợ kỹ thuật tập trung vào ứng dụng.