Tin tức

Tìm hiểu cách các vòng than chì được phủ VETEK Pyrolytic Carbon (PyC) cải thiện độ ổn định nhiệt, giảm ô nhiễm và kéo dài tuổi thọ linh kiện trong quá trình phát triển tinh thể SiC, epit Wax, CVD và chất bán dẫn ở nhiệt độ cao.

Khám phá cách lớp phủ CVD TaC cải thiện sự phát triển tinh thể SiC và sản xuất chất bán dẫn với độ ổn định nhiệt cực cao, khả năng chống ăn mòn, khử tạp chất và hiệu suất vượt trội trong các ứng dụng MOCVD và epitaxy.

Hãy xem các Thành phần Aixtron G10 chính dành cho hệ thống epit Wax SiC nhiệt độ cao. Chúng tôi đề cập đến các bộ phận than chì được phủ CVD SiC, các bộ phận phủ TaC và cấu trúc trường nhiệt – cũng như cách chúng giúp ổn định quy trình, kiểm soát độ tinh khiết và hiệu suất bán dẫn trong sản xuất chất bán dẫn tiên tiến.