Tin tức

Các sản phẩm thạch anh được sử dụng rộng rãi trong quy trình sản xuất chất bán dẫn do độ tinh khiết cao, kháng nhiệt độ cao và độ ổn định hóa học mạnh.

Lò tăng trưởng tinh thể silicon cacbua (sic) đóng vai trò quan trọng trong việc sản xuất các tấm sic hiệu suất cao cho các thiết bị bán dẫn thế hệ tiếp theo. Tuy nhiên, quá trình phát triển các tinh thể SIC chất lượng cao đưa ra những thách thức đáng kể. Từ việc quản lý độ dốc nhiệt cực cao đến giảm các khiếm khuyết tinh thể, đảm bảo tăng trưởng đồng đều và kiểm soát chi phí sản xuất, mỗi bước yêu cầu các giải pháp kỹ thuật tiên tiến. Bài viết này sẽ phân tích các thách thức kỹ thuật của các lò tăng trưởng tinh thể SIC từ nhiều quan điểm.

SMART CUT là một quy trình sản xuất chất bán dẫn tiên tiến dựa trên cấy ghép ion và tước wafer, được thiết kế đặc biệt để sản xuất các tấm wafer 3C-SIC (cacbua silicon khối) cực kỳ mỏng và cao. Nó có thể chuyển các vật liệu tinh thể cực mỏng từ chất nền này sang chất nền khác, do đó phá vỡ các giới hạn vật lý ban đầu và thay đổi toàn bộ ngành công nghiệp chất nền.

Trong việc chuẩn bị các chất nền cacbua silicon chất lượng cao và năng suất cao, cốt lõi đòi hỏi phải kiểm soát chính xác nhiệt độ sản xuất bằng vật liệu trường nhiệt tốt. Hiện tại, bộ dụng cụ luyện kim của trường nhiệt chủ yếu được sử dụng là các thành phần cấu trúc than chì có độ tinh khiết cao, có chức năng làm nóng bột carbon nóng chảy và bột silicon cũng như để duy trì nhiệt.

Khi bạn nhìn thấy các chất bán dẫn thế hệ thứ ba, bạn chắc chắn sẽ tự hỏi thế hệ thứ nhất và thứ hai là gì. "Thế hệ" ở đây được phân loại dựa trên các vật liệu được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn.

Chuck tĩnh điện (ESC), còn được gọi là Chuck tĩnh điện (ESC, E-Chuck), là một vật cố định sử dụng nguyên tắc hấp phụ tĩnh điện để giữ và sửa chữa vật liệu hấp phụ. Nó phù hợp cho môi trường chân không và plasma.