Ống lò thạch anh cho lò khuếch tán

1. Các tính năng và ưu điểm chính

• Thạch anh nung chảy khử hydroxyl có độ tinh khiết cực cao (SiO₂ ≥ 99,999%) với tạp chất kim loại được kiểm soát ở mức ppb và hàm lượng hydroxyl cực thấp

• Nhiệt độ hoạt động lâu dài lên tới 1100°C; kháng đỉnh ngắn hạn tới 1200 ° C

• Khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời sau khi ủ giảm ứng suất hoàn toàn—chống nứt khi thay đổi nhiệt độ nhanh

• Độ trơ hóa học vượt trội chống lại các khí quá trình oxy hóa, khử và chứa halogen; thích hợp cho môi trường plasma và ăn mòn

• Thoát khí chân không rất thấp; Thành bên trong nhẵn giảm thiểu sự tích tụ sản phẩm phụ và hỗ trợ khả năng lặp lại của quy trình

• Tạo hình liền khối với độ dày thành đồng đều, độ đồng trục cao và các đầu được hoàn thiện chính xác để bịt kín đáng tin cậy

• Cấu trúc có thể tùy chỉnh: ống thẳng, ống giảm tốc, ống mặt bích, chiều dài mở rộng và cấu hình đầu cuối đặc biệt cho lò đứng hoặc lò ngang

2. Ứng dụng điển hình

Ống lò thạch anh VeTek được sử dụng rộng rãi làm buồng phản ứng lõi trong:

• Lò oxy hóa nhiệt (oxy hóa khô/ướt)

• Lò khuếch tán để đưa tạp chất (B, P, As, v.v.)

• Hệ thống LPCVD để lắng đọng màng mỏng

• Ủ chân không và các quy trình xử lý nhiệt ở nhiệt độ cao khác

• Tương thích với các nền tảng wafer 4 inch, 6 inch, 8 inch và 12 inch (chất nền Si, SiC, GaN, sapphire)

Chúng hỗ trợ logic, bộ nhớ, thiết bị điện, MCU, LED, MEMS và các dây chuyền sản xuất chất bán dẫn dải rộng yêu cầu độ đồng đều nhiệt độ ổn định, kiểm soát dòng khí và môi trường quy trình siêu sạch.

3. Các thông số kỹ thuật chính

• Chất liệu: Thạch anh nung chảy khử hydroxyl cấp độ bán dẫn (SiO₂ ≥ 99,999%), hàm lượng hydroxyl thấp, tạp chất kim loại thấp

• Khả năng tương thích wafer: 4 / 6 / 8 / 12 inch

• Nhiệt độ làm việc lâu dài: −20 °C đến 1100 °C; đỉnh điểm ngắn hạn lên tới 1200 ° C

• Quy trình: Tạo hình nhiệt một mảnh, đồng nhất tường, hoàn thiện bề mặt, ủ giảm ứng suất, kiểm tra rò rỉ khí heli, làm sạch siêu sạch

• Cấu trúc có sẵn: Ống thẳng, ống giảm tốc, ống mặt bích, ống mở rộng/có chiều dài tùy chỉnh, cấu hình đặc biệt

• Tùy chỉnh: Đường kính trong/ngoài, chiều dài, độ dày thành, thông số mặt bích và hình học đặc biệt theo bản vẽ của khách hàng

4. Tại sao nên chọn ống lò thạch anh VeTek?

Là nhà sản xuất linh kiện thạch anh bán dẫn chuyên nghiệp, VeTek Semiconductor cung cấp:

• Ống lò thạch anh có độ tinh khiết cao được thiết kế cho thiết bị oxy hóa, khuếch tán, LPCVD và ủ

• Kiểm soát độ tinh khiết nghiêm ngặt, độ chính xác về kích thước và độ sạch phù hợp cho sản xuất phòng sạch Cấp 10 / Cấp 100

• Tùy chỉnh hoàn toàn và thiết kế tương thích với OEM cho lò ống đứng và lò nằm ngang

• Các sản phẩm thạch anh bán dẫn bổ sung bao gồm thuyền bán dẫn, nồi nấu kim loại, lớp lót và các bộ phận xử lý khác

Ống lò thạch anh của chúng tôi giúp duy trì các điều kiện nhiệt và dòng khí ổn định, giảm thiểu ô nhiễm hạt và kim loại, đồng thời kéo dài tuổi thọ sử dụng trong chu kỳ nhiệt độ cao liên tục—hỗ trợ năng suất cao hơn và chi phí sở hữu thấp hơn trong xử lý nhiệt bán dẫn.