Sic phủ điện tử

Khi gallium nitride (GaN) trở thành vật liệu cốt lõi của chất bán dẫn thế hệ thứ ba, các ứng dụng của nó trong các trường có tần số cao, công suất cao và quang điện tử tiếp tục mở rộng, chẳng hạn như các trạm cơ sở truyền thông 5G, mô-đun năng lượng và thiết bị LED. Tuy nhiên, trong sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là trong quá trình khắc, các tấm wafer cần phải chịu nhiệt độ cao, môi trường ăn mòn hóa học cao và các yêu cầu quy trình chính xác cực cao, đưa ra các tiêu chuẩn kỹ thuật cực kỳ cao cho các công cụ mang wafer.

Các pallet gốm SIC của SICSTuctor của Vetek được thiết kế để khắc Gan Wafer và cung cấp độ tinh khiết cao, nhiệt tuyệt vời và khả năng chống hóa học để hỗ trợ quy trình sản xuất của bạn. Nó phù hợp cho quá trình khắc huyết tương (ICP/RIE) và là một lựa chọn lý tưởng trong các thiết bị sản xuất chất bán dẫn hiện đại.

Điểm mạnh cốt lõi

1. Vật liệu gốm sic có độ tinh khiết cao

Tính ổn định hóa học: Độ tinh khiết của vật liệu là hơn 99,5%và không có ô nhiễm cho wafer GaN.

Độ cứng cao và khả năng chống mài mòn: Độ cứng gần với kim cương, có thể chịu được việc sử dụng tần số cao, thay đổi và trầy xước vô hình.

2. Hiệu suất nhiệt tuyệt vời

Độ dẫn nhiệt cao, hệ số mở rộng nhiệt (CTE): Giảm nguy cơ nứt wafer trong quá trình khắc.

3. Khả năng chống ăn mòn siêu hóa học

Nó có thể hoạt động trong nồng độ cao của fluoride, clorua và môi trường khí ăn mòn khác trong một thời gian dài.

4. Thiết kế chính xác và gia công

Độ nhám bề mặt và độ phẳng đảm bảo vị trí wafer trơn tru và khắc tính đồng nhất để đáp ứng các yêu cầu quá trình chính xác cao.

Kích thước, rãnh, lỗ cố định và các cấu trúc khác có thể được tùy chỉnh theo yêu cầu của khách hàng.

Lĩnh vực ứng dụng điện tử được phủ sic sic

● Etching plasma (ICP/RIE)

Nó cung cấp sự cố định và hỗ trợ wafer trong nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn hóa học cao, phù hợp cho quá trình khắc GaN, SIC và các vật liệu khác.

● Chuyển và lưu trữ wafer

Cung cấp một nền tảng rất bằng phẳng và không ô nhiễm để bảo vệ sự an toàn của wafer trong quá trình sản xuất.

Dịch vụ tùy chỉnh

Bán dẫn Vetek cung cấp các dịch vụ tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu quy trình cụ thể của bạn:

● Tùy chỉnh kích thước: Kích thước pallet có thể được tùy chỉnh theo kích thước wafer (Ø4 ~ 12 inch).

● Tối ưu hóa cấu trúc: Hỗ trợ rãnh, lỗ định vị, điểm cố định và tùy chỉnh cấu trúc khác.

Nó bán dẫnCác cửa hàng sản phẩm điện tử được phủ sic: