Vòng phủ TAC

Vòng phủ TaC của chất bán dẫn VeTek được chế tạo từ than chì chất lượng cao và phủ tantalum cacbua (TaC), một vật liệu được biết đến với các đặc tính vượt trội, là thành phần không thể thiếu trong xử lý tấm bán dẫn.

Các tính năng chính và lợi ích của vòng phủ TAC bán dẫn Vetek:

●  Độ ổn định nhiệt cao: Một trong những tính năng nổi bật của Vòng phủ Tantalum cacbua là khả năng chịu được nhiệt độ cao, một yếu tố quan trọng trong quá trình ăn mòn chất bán dẫn. Quá trình khắc SiC bao gồm việc tiếp xúc với nhiệt độ cao và khí phản ứng, đồng thời lớp phủ Tantalum Carbide đảm bảo vòng vẫn ổn định và giữ được tính toàn vẹn cấu trúc ngay cả trong những điều kiện khắc nghiệt này. Khả năng phục hồi nhiệt này đảm bảo rằng bộ phận này tiếp tục hoạt động tối ưu trong thời gian dài.

●  Độ bền cơ học nâng cao: Sự kết hợp giữa than chì cường độ cao và lớp phủ TaC tạo ra một thành phần có đặc tính cơ học được nâng cao, giúp Vòng phủ TaC có khả năng chống mài mòn cao. Độ bền cơ học của nó rất quan trọng trong việc giữ các tấm wafer SiC chắc chắn tại chỗ, đảm bảo quá trình ăn mòn chính xác và ngăn ngừa bất kỳ biến dạng nào trong quá trình này.

● Khả năng chống ăn mòn hóa học: Trong các quá trình bán dẫn như khắc SIC, các thành phần thường được tiếp xúc với các hóa chất tích cực và khí phản ứng. Lớp phủ cacbua tantalum cung cấp sự bảo vệ tuyệt vời chống ăn mòn, kéo dài đáng kể tuổi thọ hữu ích của chiếc nhẫn và giảm thiểu nhu cầu thay thế thường xuyên. Điện trở này đặc biệt quan trọng trong quá trình khắc, trong đó các thành phần tiếp xúc liên tục với các chất phản ứng hóa học.

●  Lớp phủ CoatiTaC cao cấp giúp nâng cao hiệu suất: Lớp phủ cacbua tantalum trên vòng than chì cung cấp một bề mặt mạnh mẽ giúp tăng cường hiệu suất của thành phần. Carbide tantalum nổi tiếng với điểm nóng chảy cao (khoảng 3,880 ° C) và khả năng chống lại các phản ứng hóa học tuyệt vời của nó, đặc biệt là trong các môi trường tích cực thường gặp trong các quy trình sản xuất bán dẫn. Lớp phủ cacbua tantalum này cải thiện đáng kể tuổi thọ của sản phẩm, cung cấp độ bền vượt trội so với các vòng than chì không tráng.

●  Độ bền cơ học nâng cao: Sự kết hợp giữa than chì cường độ cao và lớp phủ TaC tạo ra một thành phần có đặc tính cơ học được nâng cao, giúp Vòng phủ TaC có khả năng chống mài mòn cao. Độ bền cơ học của nó rất quan trọng trong việc giữ các tấm wafer SiC chắc chắn tại chỗ, đảm bảo quá trình ăn mòn chính xác và ngăn ngừa bất kỳ biến dạng nào trong quá trình này.

Là nhà cung cấp vòng phủ TAC hàng đầu, nhà sản xuất và nhà máy tại Trung Quốc, bộ bán dẫn Vetek từ lâu đã cam kết cung cấp các sản phẩm vòng phủ TAC và giải pháp kỹ thuật tiên tiến cho ngành chế biến bán dẫn và hỗ trợ các dịch vụ sản phẩm tùy chỉnh. Veteksemi chân thành mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn ở Trung Quốc.

Tính chất vật lý của lớp phủ TAC

Cửa hàng sản phẩm Vòng phủ TaC của chất bán dẫn VeTek