CVD SIC ĐẦU TRONG LOTHITE ĐẦU

Đầu vòi hoa sen than chì Veteksemia CVD SIC, bề mặt được kỹ thuật chính xác của nó đảm bảo phân bố khí đồng đều, rất quan trọng để đạt được sự lắng đọng phim nhất quán trên các tấm wafer. CácLớp phủ sicKhông chỉ tăng cường khả năng chống mài mòn và kháng oxy hóa, mà còn kéo dài tuổi thọ dịch vụ trong các điều kiện quy trình khắc nghiệt.

Được áp dụng rộng rãi trong chế tạo wafer bán dẫn, epitaxy và lắng đọng màng mỏng, đầu vòi hoa sen than chì CVD SIC là một lựa chọn lý tưởng cho các nhà sản xuất tìm kiếm các thành phần quy trình đáng tin cậy, tinh khiết cao và lâu dài đáp ứng nhu cầu của sản xuất bán dẫn tiếp theo.

Vetksemi CVD silicon cacbua vòi sen được sản xuất từ ​​hơi hóa chất có độ tinh khiết cao lắng đọng cacbua silicon và được tối ưu hóa cho các quy trình CVD và MOCVD trong các ngành công nghiệp điện tử bán dẫn, LED và nâng cao. Độ ổn định nhiệt nổi bật của nó, khả năng chống ăn mòn và phân phối khí đồng đều đảm bảo hoạt động ổn định lâu dài trong môi trường nhiệt độ cao, có tính ăn mòn cao, cải thiện đáng kể khả năng lặp lại và năng suất của quá trình.

Veteksemonon cvd sic phủ than chì hoa lõi lõi

● Độ tinh khiết và mật độ cực cao

Đầu vòi hoa sen than chì CVD SIC được sản xuất bằng quy trình CVD tinh khiết cao, đảm bảo độ tinh khiết vật liệu ≥99995%, loại bỏ bất kỳ tạp chất kim loại nào. Cấu trúc không xốp của nó ngăn chặn hiệu quả sự thẩm thấu khí và rụng hạt, làm cho nó trở nên lý tưởng cho các quá trình bao bì bán dẫn và các quy trình đóng gói tiên tiến đòi hỏi phải có độ sạch cực kỳ cao. So với các thành phần SIC hoặc than chì truyền thống, sản phẩm của chúng tôi vẫn duy trì hiệu suất ổn định ngay cả sau khi hoạt động ở nhiệt độ cao kéo dài, giảm tần suất bảo trì và chi phí sản xuất.

● Sự ổn định nhiệt tuyệt vời

Trong các quá trình CVD và MOCVD nhiệt độ cao, các vật liệu thông thường dễ bị biến dạng hoặc nứt do ứng suất nhiệt. Đầu vòi hoa sen CVD chịu được nhiệt độ lên tới 1600 ° C và có hệ số giãn nở nhiệt cực thấp, đảm bảo độ ổn định cấu trúc trong quá trình tăng và giảm nhiệt độ nhanh. Độ dẫn nhiệt đồng đều của nó tối ưu hóa sự phân bố nhiệt độ trong buồng phản ứng, giảm thiểu sự khác biệt về tốc độ lắng đọng giữa cạnh wafer và trung tâm, và cải thiện tính đồng nhất của màng.

● Ăn mòn chống plasma

Trong quá trình khắc hoặc lắng đọng, các loại khí ăn mòn cao (như CF₄, Cl₂, và HBR) nhanh chóng làm xói mòn các thành phần thạch anh hoặc than chì thông thường. Vật liệu SIC CVD thể hiện khả năng chống ăn mòn đặc biệt trong môi trường plasma, với tuổi thọ gấp 3-5 lần so với các vật liệu thông thường. Kiểm tra khách hàng thực tế đã chỉ ra rằng ngay cả sau 2000 giờ hoạt động liên tục, sự thay đổi kích thước lỗ rỗng vẫn nằm trong phạm vi ± 1%, đảm bảo phân phối dòng khí ổn định dài hạn.

● Cuộc sống lâu dài và chi phí bảo trì thấp

Trong khi các thành phần than chì truyền thống yêu cầu thay thế thường xuyên, đầu vòi hoa sen CVD với SIC được phủ duy trì hiệu suất ổn định ngay cả trong môi trường khắc nghiệt. Điều này làm giảm chi phí tổng thể hơn 40%. Hơn nữa, cường độ cơ học cao của vật liệu ngăn ngừa thiệt hại do tai nạn trong quá trình xử lý hoặc lắp đặt.

● Chứng minh chuỗi sinh thái

Xác minh chuỗi sinh thái của Veteksemia CVD Silicon Carbide bao gồm các nguyên liệu thô để sản xuất, đã thông qua chứng nhận tiêu chuẩn quốc tế và có một số công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo độ tin cậy và bền vững của nó trong các trường bán dẫn và các trường năng lượng mới.

Thông số kỹ thuật

Dự án	Tham số
Vật liệu	CVD SIC (Tùy chọn lớp phủ có sẵn)
Phạm vi đường kính	100mm-450mm (có thể tùy chỉnh)
Dung sai độ dày	± 0,05mm
Độ nhám bề mặt	≤0,2μm
Quá trình áp dụng	CVD/MOCVD/PECVD/ETCHING/EPITAXY

Trường ứng dụng chính

Hướng ứng dụng	Kịch bản điển hình
Sản xuất bán dẫn	Silicon Epitaxy, GaN/GaAs thiết bị
Điện tử điện	Sic epitaxial wafer sản xuất
DẪN ĐẾN	Lắng đọng chất nền Sapphire MOCVD
Thiết bị nghiên cứu khoa học	Hệ thống lắng đọng màng mỏng có độ chính xác cao

Chứng minh chuỗi sinh thái

Xác minh chuỗi sinh thái của Veteksemia CVD Silicon Carbide bao gồm các nguyên liệu thô để sản xuất, đã thông qua chứng nhận tiêu chuẩn quốc tế và có một số công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo độ tin cậy và bền vững của nó trong các trường bán dẫn và các trường năng lượng mới.

Đối với các thông số kỹ thuật chi tiết, giấy trắng hoặc sắp xếp thử nghiệm mẫu, xin vui lòngLiên hệ với nhóm hỗ trợ kỹ thuật của chúng tôiĐể khám phá cách Veteksemonon có thể nâng cao hiệu quả quá trình của bạn.