Tấm chắn & màn trập thạch anh mờ có độ tinh khiết cao cho MOCVD

1. Thông số kỹ thuật

Chúng tôi cung cấp gia công có độ chính xác cao dựa trên bản vẽ kỹ thuật của bạn để đảm bảo phù hợp hoàn hảo với các mẫu thiết bị cụ thể của bạn.

2. Các lĩnh vực ứng dụng cốt lõi

● Bảo vệ quy trình MOCVD: Đóng vai trò là tấm chắn/lớp lót bên trong cần thiết để bảo vệ môi trường phản ứng.

● Epitaxy bán dẫn: Được sử dụng làm cửa chớp có độ chính xác cao để ổn định dòng chảy và nhiệt độ trong quá trình phát triển màng mỏng.

● Sản xuất chất bán dẫn dải rộng: Tương thích với các môi trường có nhu cầu cao về GaN và các vật liệu tiên tiến khác.

3. Tại sao nên chọn giải pháp thạch anh VETEK?

● Quản lý bức xạ nhiệt vượt trội: Thạch anh màu trắng sữa của chúng tôi chứa mật độ cao các bong bóng siêu nhỏ giúp phân tán và ngăn chặn bức xạ nhiệt ở nhiệt độ cao (>1000°C) một cách hiệu quả. Nó hấp thụ ánh sáng nhìn thấy và cận hồng ngoại từ các bộ phận làm nóng và chuyển đổi nó thành bức xạ hồng ngoại xa, đảm bảo sưởi ấm đồng đều cao.
● Kiểm soát ô nhiễm & Bảo trì dễ dàng: Là lớp lót bên trong hy sinh hoặc có thể thay thế, Tấm chắn thạch anh giữ cho buồng phản ứng luôn sạch sẽ bằng cách ngăn ngừa sự lắng đọng sản phẩm phụ trên thành buồng và bộ sưởi đắt tiền. Những bộ phận này có thể được tái tạo thông qua quá trình làm sạch ướt (như giải pháp SPM+DHF) hoặc dễ dàng thay thế để đảm bảo năng suất wafer cao.
● Kháng hóa chất cực cao: Thạch anh VETEK được thiết kế để chịu được chu kỳ nhiệt thường xuyên và chống ăn mòn từ các chất hữu cơ kim loại (như TMGa) và hydrua (như AsH₃).
● Kiểm soát quy trình chính xác: Cửa chớp thạch anh của chúng tôi duy trì độ ổn định kích thước cao trong điều kiện gia nhiệt bằng tia hồng ngoại hoặc dây tóc. Quán tính nhiệt thấp của chúng cho phép phản ứng cơ học nhanh chóng, cho phép kiểm soát sự tăng trưởng ở "mức nguyên tử" chính xác và ngăn ngừa ô nhiễm chéo trong quá trình chuyển đổi nhiều wafer hoặc đa quy trình.
● Giải pháp thay thế hiệu quả về chi phí: Đối với các dự án có yêu cầu nghiêm ngặt về ngân sách, các sản phẩm thạch anh của chúng tôi cung cấp điểm đầu vào đáng tin cậy so với than chì được phủ, mang lại khả năng bảo vệ và chức năng cần thiết cho hệ thống MOCVD.