Thuyền wafer có độ tinh khiết cao

Thuyền wafer thạch anh có độ tinh khiết cao của VeTek Semiconductor được làm bằng thạch anh có độ tinh khiết cực cao, có đặc tính là hàm lượng hydroxyl thấp, độ tinh khiết cao và khả năng chịu nhiệt độ cao mạnh. Vật liệu này cũng được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp bán dẫn làm vật liệu cho lò khuếch tán và các thành phần lò CVD. Là một thùng chứa để chở các tấm silicon, tấm wafer thuyền thạch anh có độ tinh khiết cao đã được sử dụng trong các lĩnh vực bán dẫn, quang điện, hóa học và các lĩnh vực khác.

Kịch bản ứng dụng

Đầu tiên là trường bán dẫn. Quá trình xử lý nhiệt của các tấm wafer là rất quan trọng, bao gồm quá trình oxy hóa nhiệt, khuếch tán, ủ, v.v. Thông qua quá trình xử lý nhiệt, chúng tôi cung cấp cho các wafers đặc điểm mới.

Ống lõi lò nung hàng loạt được sử dụng cho các quá trình xử lý tấm bán dẫn như oxy hóa nhiệt, khuếch tán nhiệt độ cao, ủ và lắng đọng màng mỏng. Lò gia nhiệt hàng loạt chủ yếu được sử dụng để làm nóng thân lò bằng cuộn dây để hoàn thành quá trình xử lý nhiệt. Theo các cấu trúc làm việc khác nhau, ống lõi lò mẻ có thể được chia thành lò ngang và lò dọc:

(1) Thuyền wafer thạch anh có độ tinh khiết cao của lò ngang được đặt theo chiều ngang, do đó nó được gọi là lò ngang.

Trong quá trình xử lý nhiệt, wafer được nạp lên Thuyền wafer thạch anh có độ tinh khiết cao, được đưa từ từ vào ống lò thạch anh và wafer được đặt trong vùng nhiệt độ không đổi để xử lý. Sau khi chờ quá trình hoàn tất, thuyền thạch anh đã sử dụng wafer được từ từ kéo ra khỏi lò thạch anh để tránh wafer bị hư hỏng do thay đổi nhiệt độ đột ngột. Lò nung ngang được sử dụng rộng rãi trong quá trình khuếch tán các mạch tích hợp có đường kính wafer nhỏ hơn 200mm. 

Ưu điểm của lò ngang là quy trình đơn giản, tính đồng nhất tốt giữa các tấm bán dẫn và khả năng xử lý nhiều tấm bán dẫn cùng một lúc. Nhược điểm là tốc độ làm nóng chậm, kích thước thiết bị lớn, khó tự động hóa và dễ dàng xâm nhập không khí bên ngoài khi bốc dỡ tấm bán dẫn.

(2) Thuyền wafer thạch anh có độ tinh khiết cao của lò đứng được đặt thẳng đứng nên gọi là lò đứng.

Tấm wafer được đưa lên tháp thạch anh và từ từ dâng lên ống lò thạch anh để gia nhiệt. Trong quá trình gia nhiệt, Thuyền wafer thạch anh có độ tinh khiết cao sẽ quay từ từ để đảm bảo wafer được làm nóng đều. Sau khi xử lý, tháp thạch anh sẽ từ từ hạ xuống để tránh sự thay đổi nhiệt độ có thể gây hư hỏng tấm bán dẫn. Lò nung đứng chủ yếu được sử dụng trong quy trình mạch tích hợp các tấm bán dẫn có đường kính 200mm và 300mm. Công nghệ cốt lõi của lò đứng nằm ở việc kiểm soát trường nhiệt độ có độ chính xác cao, kiểm soát hạt, kiểm soát oxy vi mô môi trường và cơ giới hóa. Ưu điểm của lò đứng là lớp oxit tự nhiên mỏng, độ đồng đều tốt, tự động hóa dễ dàng hơn, chiếm ít diện tích thiết bị và xử lý hàng loạt. Nhược điểm là tốc độ làm nóng chậm.

Trong lĩnh vực quang điện, quá trình sản xuất tế bào quang điện đòi hỏi thuyền thạch anh phải vận chuyển và vận chuyển các tấm silicon trong quá trình khuếch tán ở nhiệt độ cao. Xử lý nhiệt độ cao trong môi trường nitơ, oxy hoặc khí trơ khác có độ tinh khiết cao, chẳng hạn như khuếch tán phốt pho hoặc khuếch tán boron, là một bước quan trọng trong quy trình sản xuất pin mặt trời. Mục đích là tạo thành một điểm nối PN trên tấm bán dẫn silicon.

Thuyền thạch anh có các khe được thiết kế chính xác bên trong để đảm bảo tấm wafer silicon duy trì vị trí chính xác trong quá trình khuếch tán ở nhiệt độ cao và được làm nóng đều. Bởi vì vật liệu thạch anh có khả năng chịu nhiệt độ cao và ổn định hóa học tốt nên sẽ không gây ô nhiễm cho tấm bán dẫn silicon, điều này có lợi cho việc duy trì độ sạch cao của môi trường sản xuất.

Là nhà đổi mới và dẫn đầu trong thị trường thuyền thạch anh đã qua sử dụng wafer của Trung Quốc, cho dù bạn đang tham gia vào ngành công nghiệp bán dẫn hay ngành quang điện, miễn là bạn cần Thuyền wafer thạch anh có độ tinh khiết cao, vui lòng yêu cầu chúng tôi báo giá và chúng tôi sẽ có thể điều chỉnh nó cho bạn theo nhu cầu của bạn.

Nó bán dẫn Cửa hàng sản phẩm: