Mâm cặp chân không gốm SiC cho wafer

Mâm cặp chân không bằng gốm Veteksemian sic dành cho wafer là thành phần cốt lõi được phát triển đặc biệt cho sản xuất chất bán dẫn thế hệ thứ ba, được tối ưu hóa cho môi trường xử lý nhiệt độ cao, áp suất cao mà wafer trải qua. Được làm từ vật liệu gốm có độ tinh khiết cao, gia công chính xác và xử lý bề mặt chuyên dụng đảm bảo hiệu suất giữ chân không ổn định và độ ổn định nhiệt tuyệt vời trong quy trình sản xuất chất bán dẫn đòi hỏi khắt khe. Mâm cặp chân không của chúng tôi đã được hàng trăm nhà sản xuất chất bán dẫn chứng minh tại hiện trường, thể hiện hiệu suất tuyệt vời trong các quy trình quan trọng như epit Wax SiC, cấy ion và quang khắc. Chúng giải quyết hiệu quả các vấn đề về độ cong vênh và độ chính xác của vị trí tấm bán dẫn do độ cứng vật liệu cao và nhiệt độ xử lý cao.

Thông tin chung về sản phẩm

Điều kiện kinh doanh sản phẩm

Ứng dụng: Mâm cặp chân không bằng gốm Veteksemicon dành cho wafer được làm bằng vật liệu gốm hiệu suất cao và được gia công chính xác để đảm bảo bề mặt siêu phẳng và độ ổn định nhiệt tuyệt vời. Nó cung cấp các giải pháp hấp phụ và kiểm soát nhiệt độ wafer đáng tin cậy cho các quá trình như tăng trưởng epiticular, cấy ion và quang khắc, cải thiện hiệu quả năng suất quy trình và hiệu quả sản xuất..

Dịch vụ có thể được cung cấp: phân tích kịch bản ứng dụng của khách hàng, vật liệu phù hợp, giải quyết vấn đề kỹ thuật.

Hồ sơ công ty：Veteksemicon có 2 phòng thí nghiệm, đội ngũ chuyên gia có 20 năm kinh nghiệm về vật liệu, có năng lực R&D và sản xuất, thử nghiệm và xác minh.

Mâm cặp chân không bằng gốm Veteksemicon cho các ưu điểm của lõi wafer

 ● Đột phá khoa học vật liệu

Veteksemian sử dụng công thức vật liệu độc đáo và quy trình thiêu kết để tăng cường đáng kể độ bền cơ học và độ ổn định nhiệt của sản phẩm trong khi vẫn duy trì đặc tính cách nhiệt tuyệt vời của vật liệu gốm. Gốm sứ làm từ alumina của chúng tôi sử dụng nguyên liệu thô có độ tinh khiết cao và công thức phụ gia đặc biệt, đảm bảo độ ổn định kích thước tuyệt vời ngay cả trong môi trường nhiệt độ cao. Gốm dựa trên cacbua silic của chúng tôi, thông qua quy trình thiêu kết được tối ưu hóa, đạt được độ dẫn nhiệt cao hơn và khả năng kết hợp nhiệt được cải thiện, khiến chúng đặc biệt phù hợp để xử lý tấm bán dẫn SiC ở nhiệt độ cao.

 ● Hiệu suất quản lý nhiệt tuyệt vời

Thiết kế nhiều lớp độc đáo và gia công chính xác của chúng tôi đảm bảo mâm cặp duy trì độ đồng đều nhiệt tuyệt vời ngay cả trong điều kiện vận hành ở nhiệt độ cao. Mâm cặp cacbua silic có độ dẫn nhiệt vượt quá 200W/m·K, cho phép cân bằng nhiệt độ nhanh chóng và duy trì sự thay đổi nhiệt độ bề mặt tấm bán dẫn trong phạm vi ±0,8°C. Khả năng quản lý nhiệt vượt trội này giúp tránh được các lỗi quy trình một cách hiệu quả do sự thay đổi nhiệt độ và cải thiện đáng kể năng suất sản phẩm.

● Công nghệ gia công siêu chính xác

Veteksemian tự hào có các trung tâm gia công chính xác hàng đầu tại Trung Quốc, sử dụng các quy trình mài và đánh bóng độc đáo để đạt được độ phẳng bề mặt dưới micromet. Đầu cặp cacbua silic của chúng tôi đạt được độ phẳng bề mặt trong khoảng 0,8μm, với giá trị Ra độ nhám bề mặt không quá 0,1μm. Chất lượng bề mặt siêu chính xác này đảm bảo sự vừa khít hoàn hảo giữa tấm bán dẫn và mâm cặp, cung cấp tham chiếu phẳng đáng tin cậy cho các quy trình chính xác như quang khắc.

● Cải thiện tuổi thọ sử dụng

Thông qua công thức vật liệu được tối ưu hóa và thiết kế kết cấu gia cố, sản phẩm của chúng tôi có tuổi thọ sử dụng vượt quá 40% so với các sản phẩm truyền thống. Công nghệ gia cố cạnh và phủ bề mặt đặc biệt giúp sản phẩm của chúng tôi chịu được các hoạt động kẹp và làm sạch thường xuyên. Các sản phẩm làm từ alumina được đảm bảo hoạt động hơn 200.000 lần, trong khi các sản phẩm làm từ cacbua silic có thể đạt hơn 500.000 chu kỳ, giúp giảm đáng kể chi phí vận hành cho khách hàng của chúng tôi.

● Chứng thực xác minh chuỗi sinh thái

Mâm cặp chân không bằng gốm Veteksemicon để xác minh chuỗi sinh thái của wafer bao gồm nguyên liệu thô cho sản xuất, đã đạt chứng nhận tiêu chuẩn quốc tế và có một số công nghệ được cấp bằng sáng chế để đảm bảo độ tin cậy và tính bền vững của nó trong lĩnh vực bán dẫn và năng lượng mới.

Để biết thông số kỹ thuật chi tiết, sách trắng hoặc sắp xếp thử nghiệm mẫu, vui lòngliên hệ với Nhóm hỗ trợ kỹ thuật của chúng tôiđể khám phá cách Veteksemian có thể nâng cao hiệu quả quy trình của bạn.